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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300

    • 產(chǎn)品型號:
    • 產(chǎn)品廠商:ORC歐阿希
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300UV照射裝置 ORC歐阿希 VUS-3300 ?????塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司系 京都玉崎(日本)株式會社全資設(shè)立的中國子公司,自2014年成立以來,迅速崛起,專業(yè)從事國內(nèi)貿(mào)易/國際貿(mào)易業(yè)務(wù),主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測儀器、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用
    詳情介紹:


    光応用裝置


    UVイレーサー

    低圧UVランプから放射する254nmのUVを利用し、プラズマ処理や、熱アニール処理工程などで、蓄積された電荷を効率よく除去し、素子の特性を改善します?!√匦预胃纳皮摔瑜暄u品歩留まりの向上、信頼性の向上が期待できます。

    ◆ 特 徴

    1. フラッシュメモリやその他の不揮発性メモリ、イメージセンサなどのチャージ除去やデータ消去に有効です。
    2. 半導(dǎo)體デバイスのトランジスタ特性の改善と安定化にも有効です。
    3. チャージイレースに*適なUV波長を、効率よく照射します。
    4. 幅広い角度からUVを照射することで、効率よくチャージを除去します。
    5. 対象ウェーハサイズは、12インチ(標(biāo)準(zhǔn))、11インチ(オプション)となります。
    6. 処理中のウェーハ溫度は100℃程度です。低溫で処理可能なため、ダメージを與えません。
    7. 裝置は、裝置本體、ランプ電源ユニット、制御ユニットから構(gòu)成されています。

    ◆ 仕 様

    型式 VUM-3500 VUS-3300
    処理ウエーハ
    サイズ
    12インチ
    8インチ OP OP
    同時処理枚數(shù) 15枚 3枚
    スループット ※1 約48WPH 約24WPH
    カセット形態(tài) FOUP FOUP
    ウェーハ搬送 自動搬送 自動搬送
    ランプ燈數(shù) 20本 4本
    初期照度 45mW/cm2 45mW/cm2
    照度測定 自動測定 自動測定
    裝置サイズ 1140(W)×
    2100(D)×
    1850(H)
    1360(W)×
    2210(D)×
    2700((H)

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    蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號

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