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  • 國內(nèi)總代HORIBA崛場多量程多氣體數(shù)字控制器SEC-Z500X 多量程/多氣體數(shù)字質(zhì)量流量控制器 這是 HORIBA *暢銷的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器。它具有多量程/多氣體功能，用戶能夠快速方便地現(xiàn)場更改氣體類型或滿量程流量。該質(zhì)量流量控制器具有高精度（+/- 1.0% 設(shè)定點）、壓電閥、高速響應(yīng)和全金屬特性，可提高制程良率，簡化零件管理。支持數(shù)字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT? 通信模式。
  • 南京供應(yīng)HORIBA崛場質(zhì)量流量控制器SEC-E500這種通用質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現(xiàn)高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質(zhì)量流量控制器可用于各種行業(yè)。通過質(zhì)量流量控制器的氣流可控制在不同的流量范圍內(nèi)：10 SCCM 至 200 SLM。
  • 浙江供應(yīng)HORIBA崛場質(zhì)量流量控制器SEC-E 這種通用質(zhì)量流量控制器具有可靠的熱傳感器和電磁閥，可實現(xiàn)高水平的氣流控制。作為一種多功能組件，SEC-E 系列質(zhì)量流量控制器可用于各種行業(yè)。通過質(zhì)量流量控制器的氣流可控制在不同的流量范圍內(nèi)：10 SCCM 至 200 SLM。
  • HORIBA崛場數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器LV-F 數(shù)字式液體質(zhì)量流量計/控制器 LF-F 和 LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器采用珀爾帖元件冷卻液體，而非更常見的熱交換方法。該技術(shù)消除了低沸點化學物質(zhì)沸騰的風險，從而實現(xiàn)更**的化學控制。
  • HORIBA崛場數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器LF-F數(shù)字式液體質(zhì)量流量計/控制器 LF-F 和 LV-F 系列數(shù)字式液體質(zhì)量流量控制器采用珀爾帖元件冷卻液體，而非更常見的熱交換方法。該技術(shù)消除了低沸點化學物質(zhì)沸騰的風險，從而實現(xiàn)更**的化學控制。
  • 總代HORIBA崛場半導體質(zhì)量流量控制器SEC-400 質(zhì)量流量控制器SEC-400 系列質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于全球各行業(yè)和市場。該控制器裝有熱力閥，提供可靠的控制能力。
  • 總代HORIBA崛場壓力補償質(zhì)量流量控制器SEC-Z700XSEC-Z700X 系列配備了可靠的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復雜性。壓力補償新功能簡化了供氣系統(tǒng)。典型的多腔室氣體管線具有管線調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質(zhì)量流量控制器串擾現(xiàn)象。SEC-Z700X 系列可以不受上流和下流壓力的影響，提供穩(wěn)定的流量控制。提供流量輸出、溫度和壓力讀數(shù)。
  • HORIBA崛場高溫數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-8000 F/D/E SEC-8000F/D/E 系列可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環(huán)境下工作，用于半導體和化合物半導體加工在內(nèi)的各種工作任務(wù)。
  • 總代蘇州HORIBA崛場數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-N100 SEC-N100 系列適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該質(zhì)量流量控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列還支持各種通信模式，即數(shù)字/模擬、DeviceNet?、CC-Link? 、PROFIBUS? 和 EtherCAT? 。SEC-N100 系列提供高精度（+/- 1.0% 設(shè)定點 *1）和高速響應(yīng)。該質(zhì)量流量控制器還具有多氣體/多量程功能，可降低制程成本。
  • 總代HORIBA崛場半導體質(zhì)量流量模塊D700MG流量控制器 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器關(guān)鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設(shè)備，以實現(xiàn)未來的**，以及**的存儲和邏輯設(shè)備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)。
  • 總代HORIBA崛場半導體質(zhì)量流量模塊D700MG流量控制器 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器關(guān)鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設(shè)備，以實現(xiàn)未來的**，以及**的存儲和邏輯設(shè)備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)。
  • 浙江區(qū)域供應(yīng)HORIBA崛場半導體熱式氣體分流器FS-3000FS-3000 結(jié)合了 HORIBA STEC 質(zhì)量流量控制器（MFC）和 MuCube（主控制器）的功能。通過配備 HORIBA STEC 專有控制算法的 MuCube 控制 MFC，F(xiàn)S-3000 實現(xiàn)了穩(wěn)定的分流控制。
  • 國內(nèi)總代HORIBA新型壓力補償質(zhì)量流量控制器SEC-Z700S。 SEC-Z700S 系列配備了新開發(fā)的熱傳感器和壓力補償功能，可實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制。集成壓力測量功能降低了氣體輸送系統(tǒng)的成本、尺寸和復雜性。新功能簡化了供氣系統(tǒng)。典型的多腔室氣體管線具有管線調(diào)節(jié)器、壓力傳感器和過濾器，以避免由壓力波動引起的質(zhì)量流量控制器串擾現(xiàn)象。
  • 蘇州區(qū)域總代HORIBA崛場寬范圍壓敏質(zhì)量流量計D700WR 半導體流量控制安裝了一個新的節(jié)流器，專為大范圍控制應(yīng)用設(shè)計，基于 CRITERION? 技術(shù)，具有高精度性能。D700WR 可將流量控制在全量程范圍的 0.1%，幫助用戶優(yōu)化氣體輸送系統(tǒng)的靈活性。例如，如果系統(tǒng)安裝了多個 MFC 用于高、低流量控制，用戶可以減少 MFC 的數(shù)量，在同一位置使用另一個 MFC 用于不同的目的。
  • 江蘇區(qū)域供應(yīng)HORIBA崛場緊湊型質(zhì)量流量控制器DZ-100半導體DZ-100 繼承了 HORIBA STEC 公司 MFC D500 所采用的相同標準技術(shù) — 粘性層流范圍壓差檢測系統(tǒng)。該技術(shù)實現(xiàn)對各種氣體的質(zhì)量流量進行高精度控制。與 D500 一樣，用戶可配置 DZ-100，支持多量程和多氣體應(yīng)用。MFC 設(shè)計緊湊，減少了內(nèi)部氣流通道占用的內(nèi)部體積，同時采用優(yōu)化控制算法改善了響應(yīng)特性。該設(shè)備使用處理能力較高的緊湊型中央處理器（CPU）。
  • 總代HORIBA崛場半導體質(zhì)量流量模塊D700MG流量控制器 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器關(guān)鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設(shè)備，以實現(xiàn)未來的**，以及**的存儲和邏輯設(shè)備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰(zhàn)。

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