-
CEDAR思達(dá)
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協(xié)和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛(ài)視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽(yáng)電機(jī)
- SSD西西蒂
- EMIC 愛(ài)美克
- TOFCO東富科
-
打印機(jī)
- HORIBA崛場(chǎng)
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機(jī)
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機(jī)
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計(jì)
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計(jì)器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學(xué)
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
-
氙氣閃光燈
-
UV反轉(zhuǎn)曝光系統(tǒng)
-
UV的水處理
-
檢測(cè)系統(tǒng)
-
光照射裝置
-
點(diǎn)光源曝光
-
變壓型電源供應(yīng)器
-
超高壓短弧汞燈
-
UV光洗凈
-
UV曝光裝置
-
uv固化裝置
-
紫外可見(jiàn)光光度計(jì)
膜厚量測(cè)儀 FE-300
產(chǎn)品信息
特 長(zhǎng)
薄膜到厚膜的測(cè)量范圍、UV~NIR光譜分析
高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測(cè)儀
藉由**反射率光譜分析膜厚
完整繼承FE-3000**機(jī)種90%的強(qiáng)大功能
無(wú)復(fù)雜設(shè)定，操作簡(jiǎn)單，短時(shí)間內(nèi)即可上手
線性*小平方法解析光學(xué)常數(shù)（n:折射率、k:消光系數(shù)）
測(cè)量項(xiàng)目
-
**反射率測(cè)量
-
膜厚解析（10層）
-
光學(xué)常數(shù)解析（n：折射率、k：消光系數(shù)）
產(chǎn)品規(guī)格
|
樣品尺寸 |
*大8寸晶圓（厚度5mm） |
|||
|---|---|---|---|---|
|
測(cè)量時(shí)間 |
0.1s ~ 10s以內(nèi) |
|||
|
量測(cè)口徑 |
約φ3mm |
|||
|
通訊界面 |
USB |
|||
|
尺寸重量 |
280（W）× 570（D）×350（H）mm，約24kg |
|||
|
軟體功能 |
||||
|
標(biāo)準(zhǔn)功能 |
波峰波谷解析、FFT解析、*適化法解析、*小二乘法解析 |
|||
|
選配功能 |
材料分析軟件、薄膜模型解析、標(biāo)準(zhǔn)片解析 |
|||
※1 請(qǐng)于本公公司聯(lián)系聯(lián)系我們
※2 對(duì)比VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品（100nm SiO2/Si），范圍值同保證書(shū)所記載
※3 測(cè)量VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品（100nm SiO2/Si）同一點(diǎn)位時(shí)之重復(fù)再現(xiàn)性。（擴(kuò)充系數(shù)2.1）
應(yīng)用范圍
半導(dǎo)體晶圓膜（光阻、SOI、SiO2等）
光學(xué)薄膜（OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等）
測(cè)量范例
-
PET基板上的DLC膜
-
Si基板上的SiNx
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
