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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:日本DNK科研曝光機MX-1205光刻機

  • 產(chǎn)品型號: MX-1205
  • 產(chǎn)品廠商:DNK 科研
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
產(chǎn)品信息實驗?研究用曝光裝置 簡練設計的手動式整面單次曝光裝置。 主要特長 對應玻璃、Wafer、膠片等基材的實驗研究用手動整面單次曝光機。也適合小批量生產(chǎn)。 可選擇接觸曝光(軟接觸、硬接觸)和近接曝光。 對應*大尺寸為500mm×500mm的基板。根據(jù)用途和基板尺寸,配置有*佳組合的光學系統(tǒng)。其中包括:超高壓水銀燈(500W?1kW?2kW?3.5kW)、各種光學鏡、特殊鏡頭、聚光鏡等
詳情介紹:

光刻機介紹

曝光裝置  MA-1200 基板追大尺寸 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″ 

光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW

曝光裝置 MA-1400  基板追大尺寸400 x 400mm

光源 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW

LED,LN曝光裝置MA-4000 圓晶尺寸?2~4″或者?4~6″

光源 超高壓汞燈:500W 或 1kW

?200mm/?150 mm 對應曝光裝置MA-4301M   材料SI 玻璃, 對齊精度自動對齊:+/- 1 μm(
峰值搜索)

?300mm對應曝光裝置MA-5301ML  光源超高壓汞燈:3.5kW  ?200mm規(guī)格也可對應

マスクレス露光裝置MX-1201 曝光掃描速度43.94mm/s  有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)245/70/245+70
マスクレス露光裝置MX-1201E  曝光掃描速度22.5mm/s  有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)460/70135

マスクレス露光裝置MX-1205  曝光掃描速度9/4.5mm/s  有效曝光區(qū)域100 x 100 追大曝光量(※3)100/50

主要規(guī)格

MA-1200、MA-1400

  MA-1200 MA-1400
基板尺寸 追大 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″ 追大 400 x 400mm
光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW
外觀尺寸及重量 本體尺寸 W1240 x D1100 x H1725 mm W1440 x D1590 x H1882 mm
本體重量 400kg 400kg(包含無塵機房)
光源重量 250kg
選購項 無塵機房、背面對位、硬接觸(真空密著式)、自動對位、對應破碎基板等特殊尺寸(需商洽)。

※基板尺寸和水銀燈瓦數(shù)及特殊規(guī)格可商洽



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