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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
AP160Mは半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動(dòng)制御することによって、配管內(nèi)の圧力を自動(dòng)調(diào)整するコントローラです。圧力センサを內(nèi)蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調(diào)により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設(shè) 定圧力に達(dá)します。圧力ロ継手は1／4"VCR相當(dāng)品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導(dǎo)體プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
詳情介紹：
型式 AP160M
主な用途 半導(dǎo)體用
対象ガス 半導(dǎo)體プロセスガス席食性ガス
入口圧力 500kPa以下
耐圧 1000kPa未満
圧力設(shè)定 コンピューター等から圧力設(shè)定入力必要
制御方式 比例ソレノイドパルプ制卸
制御圧力 0～500kPa
*大流量 差圧100kPaのとき500cc/分および3000cc/分の2種
応答時(shí)間 設(shè)定値到達(dá)まで1秒
入力信號(hào) 05VDC Cont/Close
R485
外部センサ入力 （420A 可）
出力信號(hào) アラーム出力RS485.0～5VDC
継手 1/4〃VCR相當(dāng)品
シートリーク 10-6Pa?m3/秒以下
精度 ±5kPa（800kPaFS時(shí)）
電源電圧 24VDC±10％
消費(fèi)電流 200mA Max．
使用溫度 0～50℃結(jié)露なきこと
面間外形寸法 W36×D46×H60mm
圧力センサ 有り（內(nèi)蔵）
表示設(shè)定器 裝備せず
主な用途 半導(dǎo)體用
対象ガス 半導(dǎo)體プロセスガス席食性ガス
入口圧力 500kPa以下
耐圧 1000kPa未満
圧力設(shè)定 コンピューター等から圧力設(shè)定入力必要
制御方式 比例ソレノイドパルプ制卸
制御圧力 0～500kPa
*大流量 差圧100kPaのとき500cc/分および3000cc/分の2種
応答時(shí)間 設(shè)定値到達(dá)まで1秒
入力信號(hào) 05VDC Cont/Close
R485
外部センサ入力 （420A 可）
出力信號(hào) アラーム出力RS485.0～5VDC
継手 1/4〃VCR相當(dāng)品
シートリーク 10-6Pa?m3/秒以下
精度 ±5kPa（800kPaFS時(shí)）
電源電圧 24VDC±10％
消費(fèi)電流 200mA Max．
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面間外形寸法 W36×D46×H60mm
圧力センサ 有り（內(nèi)蔵）
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