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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
由于旋涂機(jī)應(yīng)用機(jī)（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機(jī)而無(wú)刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過(guò)減少電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用過(guò)程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
*大電路板尺寸
150×150毫米印刷電路板
速度（轉(zhuǎn)/分）
20~3，000
旋轉(zhuǎn)精度
±1轉(zhuǎn)/分（負(fù)載時(shí)）
發(fā)動(dòng)機(jī)
交流伺服電機(jī)
密封蓋
鋁/德?tīng)柫?
旋轉(zhuǎn)室直徑
φ500毫米
步進(jìn)模式數(shù)
100 步× 10 種模式
時(shí)間設(shè)置
999.9秒
**聯(lián)鎖
真空標(biāo)配設(shè)備蓋標(biāo)配設(shè)備
滴水裝置
可選（*多可連接 1 個(gè)臂）
使用的真空壓力
-0.08~-0.1兆帕
效用
空氣：0.3MPa（上缸）
權(quán)力
AC200~240V 單相 5A
外部尺寸（毫米）
570W×590H×650D
重量
65公斤
| *大電路板尺寸 | 150×150毫米印刷電路板 |
| 速度（轉(zhuǎn)/分） | 20~3，000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1轉(zhuǎn)/分（負(fù)載時(shí)） |
| 發(fā)動(dòng)機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 密封蓋 | 鋁/德?tīng)柫? |
| 旋轉(zhuǎn)室直徑 | φ500毫米 |
| 步進(jìn)模式數(shù) | 100 步× 10 種模式 |
| 時(shí)間設(shè)置 | 999.9秒 |
| **聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)配設(shè)備蓋標(biāo)配設(shè)備 |
| 滴水裝置 | 可選（*多可連接 1 個(gè)臂） |
| 使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 效用 | 空氣：0.3MPa（上缸） |
| 權(quán)力 | AC200~240V 單相 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 570W×590H×650D |
| 重量 | 65公斤 |
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