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產品詳情
簡單介紹：
由于旋涂機應用機（MIKASA）的產品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
詳情介紹：
產品規(guī)格
*大電路板尺寸
φ6英寸晶圓或100×100mm基板
速度（轉/分）
20~7，000
旋轉精度
±1轉/分（負載時）
發(fā)動機
交流伺服電機
蓋
丙烯酸
旋轉室直徑
φ290毫米
步進模式數
100 步× 10 種模式
時間設置
999.9秒
**聯(lián)鎖
真空標準
蓋可選
滴水裝置
選擇
使用的真空壓力
-0.08~-0.1兆帕
權力
交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）
352W×303H×432D
重量
16公斤
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持的選項
<定制類型>
<兼容型號>
?自動滴水裝置（氣動型）
1 臂
○
2 臂
○
?自動滴水裝置（支架式）
○
?漱邊
○
?背部沖洗
○
?排氣管
○
?廢液排放
○
?鄰苯二甲酰亞胺開關
○
?特氟龍涂層
○
?增加電機余熱風扇
○
?急停開關
○
?大功率電機
| *大電路板尺寸 | φ6英寸晶圓或100×100mm基板 |
| 速度（轉/分） | 20~7，000 |
| 旋轉精度 | ±1轉/分（負載時） |
| 發(fā)動機 | 交流伺服電機 |
| 蓋 | 丙烯酸 |
| 旋轉室直徑 | φ290毫米 |
| 步進模式數 | 100 步× 10 種模式 |
| 時間設置 | 999.9秒 |
| **聯(lián)鎖 |
真空標準 蓋可選 |
| 滴水裝置 | 選擇 |
| 使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 權力 | 交流100~240V 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 352W×303H×432D |
| 重量 | 16公斤 |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
| <定制類型> | <兼容型號> | |
|---|---|---|
| ?自動滴水裝置（氣動型） | 1 臂 | ○ |
| 2 臂 | ○ | |
| ?自動滴水裝置（支架式） | ○ | |
| ?漱邊 | ○ | |
| ?背部沖洗 | ○ | |
| ?排氣管 | ○ | |
| ?廢液排放 | ○ | |
| ?鄰苯二甲酰亞胺開關 | ○ | |
| ?特氟龍涂層 | ○ | |
| ?增加電機余熱風扇 | ○ | |
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