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產(chǎn)品中心

所在位置: 首頁> 產(chǎn)品目錄> MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機> 旋轉(zhuǎn)涂布機>

產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：MIKASA真空鍍膜機MS-B100
產(chǎn)品型號：MIKASA 真空鍍膜機MS-B100
產(chǎn)品廠商：MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機
產(chǎn)品價格：0
折扣價格：0
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。

詳情介紹：

產(chǎn)品規(guī)格

*大電路板尺寸	φ4英寸晶圓或75×75mm基板
速度（轉(zhuǎn)/分）	20~8，000
旋轉(zhuǎn)精度	±1轉(zhuǎn)/分（負載時）
發(fā)動機	交流伺服電機
蓋	丙烯酸
旋轉(zhuǎn)室直徑	φ220毫米
步進模式數(shù)	100 步× 10 種模式
時間設置	999.9秒
**聯(lián)鎖	真空標準蓋可選
滴水裝置	不可連接
使用的真空壓力	-0.08~-0.1兆帕
權力	交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）	259W×246H×330D
重量	10公斤

* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

支持的選項

<定制類型>		<兼容型號>
?自動滴水裝置（氣動型）	1 臂
?自動滴水裝置（氣動型）	2 臂
?自動滴水裝置（支架式）
?漱邊
?背部沖洗
?排氣管		○
?廢液排放		○
?鄰苯二甲酰亞胺開關		○
?特氟龍涂層		○
?增加電機余熱風扇		○
?急停開關		○
?大功率電機

薄膜厚度分布數(shù)據(jù)

使用的型號 MS-B100

薄膜厚度測量裝置菲爾計量 F50

抵抗 OFPR-800LB （東京大鹿）

電路板尺寸 φ4英寸硅片

目標膜厚度 1微米

薄膜厚度分布 ±0.8%

選型支持技術服務售后安裝調(diào)試維修

蘇州代理MIKASA 真空鍍膜機MS-B100

南京代理MIKASA 真空鍍膜機MS-B100

常州代理MIKASA 真空鍍膜機MS-B100

上海代理MIKASA 真空鍍膜機MS-B100

武漢、長沙、合肥、杭州、貴陽、蕪湖

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蘇公網(wǎng)安備 32050502000409號

使用的型號	MS-B100
薄膜厚度測量裝置	菲爾計量 F50
抵抗	OFPR-800LB （東京大鹿）
電路板尺寸	φ4英寸硅片
目標膜厚度	1微米
薄膜厚度分布	±0.8%

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產(chǎn)品名稱：MIKASA真空鍍膜機MS-B100

產(chǎn)品規(guī)格

支持的選項

薄膜厚度分布數(shù)據(jù)