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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：UVISEL Plus In-Situ在線監(jiān)控橢偏儀浙江供應

  • 產(chǎn)品型號： UVISEL Plus In-Situ
  • 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
UVISEL Plus In-Situ在線監(jiān)控橢偏儀浙江供應UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動態(tài)范圍寬和準確等優(yōu)點，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現(xiàn)。
詳情介紹：

UVISEL Plus In-Situ在線監(jiān)控橢偏儀浙江供應

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實時監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過程。

UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動態(tài)范圍寬和準確等優(yōu)點，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過程速度比較快也可實現(xiàn)。

采用新型適配器組件可以實現(xiàn)臺式設備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多先進的建模和擬合處理功能，操作界面簡單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。先進的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設計用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。

  • 高速、準確
  • 完整集成了實時測量、建模和報告軟件包
  • 便于在線和離線間切換

 

可獲得的信息

  • 薄膜厚度
  • 光學常數(shù)（n,k）
  • 材料組成
  • 光譜范圍：190-885 nm，可擴展至 190-2100 nm
  • 光源：75W氙燈或150W氙燈
  • 探測系統(tǒng)：單點或?qū)崟r光譜采集使用高靈敏度，寬動態(tài)范圍的PMT探測器和掃描單色儀，原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻
  • 光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
  • 機械適配器：CF35或KF40法蘭


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