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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
國(guó)內(nèi)總代 KOSAKA小坂膜厚儀探針接觸式臺(tái)階儀ET200A-3D能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號(hào)探針，提供了通過(guò)過(guò)程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。
詳情介紹：
國(guó)內(nèi)總代KOSAKA小坂膜厚儀探針接觸式臺(tái)階儀ET200A-3D
日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET200A概述
ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半 導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、 薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高 精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號(hào)探針，提供了通過(guò)過(guò)程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。
它是2D表面粗糙度分析和階梯測(cè)量的理想選擇，可實(shí)現(xiàn)高精度，高分辨率和出色的穩(wěn)定性，并且還支持測(cè)量力小的軟樣品表面。
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ET200A：表面粗糙度分析和階梯測(cè)量的理想選擇
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ET200A-D：配備電動(dòng)Y軸單元
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ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測(cè)量的理想選擇
| *大樣本量 | Φ160×厚度52毫米 |
|---|---|
| 再現(xiàn)性 | 1σ 0.3nm以內(nèi) |
| 測(cè)量范圍 | Z軸：600微米 X：100毫米 |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
| 測(cè)量力 | 10μN(yùn)~500μN(yùn) |
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