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日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)中國代理
日本MIKASA MS-B100旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹:
■采用AC伺服電動(dòng)機(jī)
1. 無刷式,不會(huì)造成無塵室污染。
2. 減少電動(dòng)機(jī)發(fā)熱.也減少因連續(xù)使用時(shí)的溫度上升造成對膜厚匡 現(xiàn)性的影響。
3. 電力消費(fèi)低,減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
■擴(kuò)張程序功能
1.*多有100階段程序、可記憶10種樓式,更容易使用?
■所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)宇式真空計(jì)
■方形基板等可設(shè)定停止時(shí)位置.超方便
■**裝置機(jī)構(gòu)(真空壓及蓋子)
1.由于薄膜或晶圓容易破裂,而降低吸附壓力時(shí).可以變更**裝 罟機(jī)構(gòu)(真空)的稼動(dòng)壓力。

日本MIKASA MS-B200旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹:
功能
■采用AC伺服電動(dòng)機(jī)
1. 無刷式,不會(huì)造成無塵室污染。
2. 減少電動(dòng)機(jī)發(fā)熱,也減少因連續(xù)使用時(shí)的溫度上升造成對膜厚再現(xiàn)性的彩購。
3. 電力消費(fèi)低,減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
■擴(kuò)張程序功能
1.*多有100階段程序、可記憶10種模式,更容易使用。
■所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)宇式真空計(jì)
■方形基板等可設(shè)定停止時(shí)位置,超方便
■**裝置機(jī)構(gòu)(真空壓及蓋子)
1.由于薄膜或晶圓容易破裂,而降低吸附壓力時(shí),可以變更**裝置機(jī)構(gòu)(真空)的稼動(dòng)壓力。

日本MIKASA MS-B200(密閉式)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹:
■可減低因旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的氣流不穩(wěn).均勻涂膜
■ EB光刻劑涂布效果佳
■低沸點(diǎn)溶劑涂布效果佳
■可減低光刻劑的使用量

日本MIKASA MS-B300旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹:

日本MIKASA MS-B300(密閉式)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)介紹:

日本MIKASA 標(biāo)準(zhǔn)滴下設(shè)備(氣動(dòng)式)特點(diǎn)介紹:

日本MIKASA 標(biāo)準(zhǔn)滴下設(shè)備(直立式)特點(diǎn)介紹:
