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MORITEX茉麗特-高速高分辨率晶圓檢測*佳方案

日期：2024-09-20 08:00

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摘要：晶圓（Wafer）是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，其形狀為圓形，故稱為晶圓（Wafer）。硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的檢測質(zhì)量將直接影響下步半導(dǎo)體加工工藝的精度及成本。被測物體:晶圓客戶要求： 1.wafer檢測，通常要求高分辨率 2.高速檢測，因此要求光源亮度高且鏡頭Fno.小光通量大 3.低畸變難點： 1.匹配16K 3.5um相機 2.支持相機靶面62mm 3.高...

晶圓（Wafer）是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，其形狀為圓形，故稱為晶圓（Wafer）。硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。晶圓的檢測質(zhì)量將直接影響下步半導(dǎo)體加工工藝的精度及成本。

被測物體:晶圓