半導(dǎo)體測試設(shè)備:探針接觸式輪廓儀,臺階儀.膜厚儀/KOSAKA日本小坂

株式會社（KOSAKA）小坂研究所是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本一家發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

KOSAKA小坂臺階儀（探針臺）具有以下特點(diǎn)：

二維／三維表面粗度解析及臺階測定，可實(shí)現(xiàn)高精度、高辨識能力及優(yōu)越的**性。

用于平板顯示器、硅片、硬盤等的微細(xì)形狀臺階／粗度測定另外也可利用微小測定力來對應(yīng)軟質(zhì)樣品表面測定。

具備載物臺旋轉(zhuǎn)功能，便于定位下針位置。

高精度 ? 高穩(wěn)定性 ? 功能超群。

FPD 基板 ? 硅片 ? 硬盤等

微細(xì)形狀、段差、粗糙度等測量。

半導(dǎo)體測試設(shè)備:探針接觸式輪廓儀,臺階儀.膜厚儀/KOSAKA日本小坂
KOSAKA小坂 LAB ET 200A

微細(xì)形狀測定機(jī)（探針接觸式臺階儀）

設(shè)備特點(diǎn)：

KOSAKA小坂 ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供***的形貌分析，包括

半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、

薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高

精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能準(zhǔn)確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨

損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。

ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色

CCD 原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。

是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)，針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。

 ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。

半導(dǎo)體測試設(shè)備:探針接觸式輪廓儀,臺階儀.膜厚儀/KOSAKA日本小坂規(guī)格

一、樣品臺：

1. 樣品臺尺寸：φ160mm

2. 工件尺寸：φ200mm

3. 工件厚度：52mm

4. 工件重量：2kg

5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)

6. 樣品臺材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁

7. 手動旋轉(zhuǎn)：360°(手動粗調(diào))、±5°(微調(diào)，小約0.5°)

二、傳感器（pick up）：

1. 原理：直動式傳感器 （***）

2. Z方向測定范圍：Max. 600?m

3. Z方向小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時(shí))

4. 測定力： 10uN ~500uN

5. 觸針半徑：2 ?m 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）

6. 驅(qū)動方式：直動式

7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺階時(shí))

三、KOSAKA日本小坂X 軸 (基準(zhǔn)軸/測量軸)：

1. 移動量(測長)：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2?m/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s

4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1?m

5. 位置重復(fù)誤差：±5um

四、Z軸：

1. 移動量：54mm

2. 移動速度：max.2.0mm/S

3. 檢出器自動停止機(jī)能

六、Y軸：（手動定位用）

1. 移動量：25mm（±12.5mm）

七、工件觀察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率

2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時(shí))

3. 視野：1.2*0.9mm

4. 觀察方向：右側(cè)斜視

5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）

八、KOSAKA日本小坂軟件功能簡介：

1. 型號：i-STAR31

2. 可設(shè)定測量條件菜單、重復(fù)測量設(shè)定、解析菜單

3. 可設(shè)定下針座標(biāo)，實(shí)現(xiàn)定位后自動測量及解析功能

4. 可設(shè)定低通濾波，過濾噪音及雜訊

5. 具有返回測量啟始點(diǎn)功能

6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內(nèi)應(yīng)力分析、內(nèi)建多種段差解析菜單可

選

九、床臺：一體花崗巖

十、防振臺(選購)：落地型或桌上型

十一、電源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA

十二、本體外觀尺寸及重量：

W500×D440×H610mm, 120kg，一體花崗巖低重心結(jié)構(gòu)

(不含防震臺)