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產(chǎn)品中心
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日本AMAYA株式會社天谷制作所——半導體設備

日期：2025-04-28 08:43
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摘要： 常壓CVD裝置 準備了滿足顧客需求的產(chǎn)品陣容。同時，定做也對應。 ＜產(chǎn)品特征＞ 對應于半導體制造用、太陽能電池制造用等各種用途 從少量生產(chǎn)到大量生產(chǎn) 形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種 采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區(qū)域可以廣泛成膜 A200V 單片式常壓CVD裝置 AMAX800V 8英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置 ...


常壓CVD裝置

準備了滿足顧客需求的產(chǎn)品陣容。同時，定做也對應。


＜產(chǎn)品特征＞

對應于半導體制造用、太陽能電池制造用等各種用途

從少量生產(chǎn)到大量生產(chǎn)

形成SiO2、BPSG、BSG、PSG等各種膜種

采用SiC托盤防止重金屬污染，從低溫（200℃）到中溫（500℃）區(qū)域可以廣泛成膜



A200V 單片式常壓CVD裝置




AMAX800V

8英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置




AMAX1200

12英寸連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置




A6300S

小口徑晶圓連續(xù)式量產(chǎn)用常壓CVD裝置


定制裝置





D501

間歇式常壓CVD裝置



太陽能電池用裝置




AMAX1000S

125mm/156mm太陽能電池量產(chǎn)用連續(xù)式常壓CVD裝置



玻璃基板成膜裝置




對應FPD等剛性/撓性器件的常壓CVD裝置

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