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    日本MIKASA|涂布機(jī)旋轉(zhuǎn)機(jī)曝光機(jī)|MS-B150|半導(dǎo)體行業(yè)|塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司中國代理店熱銷

    日期:2025-04-27 08:46
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    摘要: 日本MIKASA:MS-B150適用于直徑6英寸晶圓或100mm*100mm 基片的型號(hào) 為半導(dǎo)體制造工序提供支持的 Mikasa 備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì),且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過程中所發(fā)生的一系列問題,也可在現(xiàn) 場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問,不僅...

    日本MIKASA:MS-B150適用于直徑6英寸晶圓或100mm*100mm 基片的型號(hào)


    為半導(dǎo)體制造工序提供支持的 Mikasa 
    備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì),且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過程中所發(fā)生的一系列問題,也可在現(xiàn)
    場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問,不僅銷售設(shè)備,而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程提供支持。

    成膜管理
    為了控制薄膜保持在一定厚度(分布)范圍內(nèi),轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)時(shí)間、腔室內(nèi)空氣(溶劑空氣)這3 點(diǎn)非常重要若要追求更好的膜厚分布管理,可對(duì)滴下量、腔室內(nèi)形狀(鼓風(fēng)、排氣、吸盤形狀)、溫度、濕度、基板面平行度、滴波溫度、滴波濃度、滴波揮發(fā)性、烘烤溫度、烘烤溫度的分布不均勻等各種因素進(jìn)行管理,實(shí)現(xiàn)均
    成膜。


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