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samco inc. - サムコ株式會社
samco inc. - サムコ株式會社
samco inc. - サムコ株式會社以“用薄膜技術為世界產業(yè)科學做出貢獻”為經營理念，以重視創(chuàng)造性、采用直銷體制、積極認識事業(yè)在社會中發(fā)揮的作用為經營方針，開展事業(yè)。
以化合物半導體為中心的光電子領域、高頻器件領域、電子零件領域為中心，進一步擴大面向生產用途的裝置的銷售，向以中國市場為首的海外市場積極展開。
在京都的研究開發(fā)中心和美國硅谷的奧普托菲爾姆斯研究所進行研究開發(fā)。其中，我們將盡快啟動與薄膜事業(yè)相關的新事業(yè)、新領域，為社會做出貢獻。
samco inc. - サムコ株式會社経営方針
- 01社員の創(chuàng)造性を重視し、常に獨創(chuàng)的な薄膜技術を世界の市場に送る。
- 02直販制度を採用し、ユーザーニーズに対応した製品をタイムリーに提供する。
- 03事業(yè)が社會に果たす役割を積極的に認識し、高い付加価値を目標とし、株主、取引先、役員、従業(yè)員に対し、適切な成果の配分をする。
samco inc. - サムコ株式會社行動指針「勇気、創(chuàng)造、勤勉」
- 勇気「勇気」とは、前向きな気持ちで積極的に仕事に取り組む姿勢です。失敗を恐れず、自発的にチャレンジする気持ちを大切にしています。
- 創(chuàng)造「創(chuàng)造」とは、知恵と知識を生かして世の中にないモノや仕組みを生み出す力です。創(chuàng)造はその大小を問いません。毎日の小さな創(chuàng)造が、將來予測の困難な時代を生き抜く大きな力になります。
- 勤勉「勤勉」とは、不斷の努力を惜しまない実直に學び続ける姿勢です。世の中にないものを生み出すには、世の中にあるものを知らないといけません。そのためには、常に學び続ける姿勢が必要です。
samco inc. - サムコ株式會社半導體制造裝置入門
什么是半導體
所謂化合物半導體
二極管
晶體管，晶體管
集成電路
節(jié)能貢獻
半導體制造裝置
關于裝置
所謂半導體制造裝置
什么是CVD裝置
所謂干蝕刻裝置
所謂干洗裝置
高性能化等離子清潔器
什么是真空
了解真空
真空的必要性
真空測量
真空容器從大氣受到力
真空壓力與氣體容積的關系
什么是等離子體
什么是等離子體
身邊的等離子
將等離子體運用于技術
請看用武士制造的半導體制造裝置。
CVD裝置
進行防水、絕緣等處理
干法刻蝕裝置
進行精密的加工
干洗裝置
污染并清洗表面
Samco的ICP蝕刻系統(tǒng)的優(yōu)點。
- 高蝕刻率
- 優(yōu)良的均勻性
- 優(yōu)異的基板直流偏壓和離子能量控制能力
- 通過ESC**控制晶圓溫度，從-10oC到+200oC。
- 廣泛的工藝庫
SiC功率器件、GaN射頻器件、MicroLEDs、激光二極管、GaAs VCSEL、SAW/BAW濾波器、電容器、MEMS器件等**技術，在未來的十年中被賦予了更多的期待。作為此類器件材料的化合物半導體的微細加工需要高精度的干式等離子體蝕刻工藝。Samco先進的電感耦合等離子體(ICP)蝕刻系統(tǒng)非常熟悉化合物半導體器件的加工。ICP蝕刻系統(tǒng)的等離子體密度是傳統(tǒng)的電容耦合等離子體反應離子蝕刻（CCP-RIE）系統(tǒng)的1000倍。它們能夠實現(xiàn)更廣泛的工藝。然而，要在ICP蝕刻系統(tǒng)中獲得均勻的等離子體并不容易。Samco公司開發(fā)了具有三維結構的ICP線圈 "Tornado ICP?"，它能夠形成高度均勻的等離子體。
為了提高Tornado ICP?的可靠性和性能，Samco進行了電磁場模擬。通過這些模擬，我們找出了實現(xiàn)*佳均勻性的*佳配置。Tornado ICP?蝕刻系統(tǒng)不僅在化合物半導體上，而且在硅和金屬薄膜上也實現(xiàn)了高度均勻、高速、高長寬比的蝕刻，被各行業(yè)的許多工廠和研究室所使用。
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