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PF-60點自動對焦表面形狀測量機MITAKA三鷹光器

日期：2024-09-20 08:10

瀏覽次數：170

摘要：PF-60點自動對焦表面形狀測量機MITAKA三鷹光器,MITAKA三鷹光器,點自動對焦表面形狀測量機,

MITAKA 三鷹光器 | 點自動對焦表面形狀測量機
型號：PF-60
是否進口：進口
產品概述：
● 廣范圍、高精度測量。
● 具有Scan AF的高速測定模式。
● 與粗糙度的國際標準具有高度相關性。
● 標配的MitakaMap軟件，可對應ISO國際標準的2D/3D表面粗糙度/形狀測量標準。
● 緊湊的尺寸，只需要400mm x 400mm 的空間即可安裝。設備重量31kg。

より早く
より簡単に
より高精度に

インデックス測定の50倍速を可能にするスキャンAF機能と高精度自動XYステージにより、數十mmオーダーの広範囲をサブμmレベルの測定精度で高速に測定する事を実現しました。
斷面曲線では検出できない精密加工部品の反り測定、成型品の形狀**、トライボロジーにおける摩耗量や傷の定量評価に*適です。

特長

広範囲、高精度測定

半徑R0.5μｍのレーザプローブと高精度XYステージにより、數十mmオーダーの範囲をサブμｍレベルの測定精度で、ダイレクトに測定します。

フレネルレンズ X= 4.498mm Y＝4.501mm Z=4.733μm

回折格子 X= 4.498mm Y＝4.501mm Z=4.733μm

高速三次元測定

高速スキャンAF機能により、広範囲 / 高速測定を実現しました。
従來は1時間20分かかっていた測定時間が6分で可能に。

間隔用標準片 XY= 0.8mm x 0.8mm

斷面測定測定時間僅か15秒/8000點

優(yōu)れた角度追従性

高感度AFセンサが表面からの僅かな反射光を捕捉。急斜面や段差のダイレクト精密測定を可能にします。

小徑ギヤ(モジュール0.3) X=2mm Y＝2mm Z=723μm

測定結果 *大傾斜角度85度を可能に

測定畫面でワークをモニタしながら測定

見て測る。簡単操作で高度測定が可能です。
観察用の低倍レンズと測定用の高倍レンズの切り替えがスライドのワンタッチ操作で容易に可能です。

対物切り替え

測定畫面

ISOが認めた測定方式

2008年に本測定法をISO規(guī)格の“面領域の表面性狀の分類(ISO 25178-6)”に非接觸測定法として提案し、“Point Autofocus Profiling”と命名され、2014年2月にISO 25178-605 : Point Autofocus Probeとして公布されました。

測定概要

PF-60はZ軸の高さ測定用のオートフォーカス(AF)顕微鏡とスキャニング用高度精度XYステージにより構成されます。
AF顕微鏡により高さ方向の位置を測定し、XY、ステージ上のワークを移動させることでXYZの座標値を取り込み、形狀測定を行います。

スキャニングXYステージ

高精度XYステージを駆使させて座標軸を読み込む方式であるため、可動範囲內(60mm x 60mm)で連続して測定が可能です。視野範囲などの測定精度がないため測定データをつなぎ合わせる必要がなく、広範囲の高精度測定が可能です。

ポイントフォーカス式

高さ測定用のAF顕微鏡に組み込まれたレーザ光は上図の赤いラインのような光路で対物レンズを通り、半徑0.5μmのレーザプローブとして測定ワーク表面に結像します。
ワーク表面のレーザプローブ反射光は再び対物レンズを通り、AFセンサ上に結像しますが、レーザプローブがフォーカス位置から移動するとAFセンサ上のスポットの位置も変化します。AFセンサはスポットの位置変位をリアルタイムで検出し、常にセンサ中心にスポットが來るようにAF軸機構部を動作させることでAF顕微鏡を位置決めします。