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HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具

日期：2024-09-20 08:39

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摘要：HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具

Auto SE - 自動化薄膜測量工具
一鍵式全自動快速橢偏儀
Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。
Auto SE全自動化設計、一鍵式操作，功能齊全。配備自動XYZ樣品臺進行成像分析，自動切換微光斑，多種附件可選，以滿足不同的應用需求。
Auto SE借助完整的操作向?qū)В詣訖z測并診斷問題，對故障進行處理，儀器維護簡單
Auto SE是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具
全自動流程，薄膜分析更容易
高性能系統(tǒng)
光斑可視化，微光斑可至25x60 μm
功能齊全和靈活
智能診斷

HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具
光譜范圍：440-1000nm
光斑尺寸：7個尺寸微光斑全自動切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
探測系統(tǒng)：CCD，分辨率2nm
樣品臺：真空吸盤，Z軸行程40mm
光斑可視系統(tǒng)：CCD攝像機-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
量角器：固定角70°，也可選擇66°或61.5°
多種附件可選
測試時間：<2s，常規(guī)為5s
準確性：NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
重復性：NIST 15nm ± 0.2 ?

發(fā)光二極管（LED）具有耗電量少、壽命長、色彩豐富、耐震動、易控等特點。1990年代以來，半導體照明技術不斷突破，應用領域日益擴展。LED的電光轉化效率取決于LED薄膜的結構和整體材料性能。橢圓偏振光譜可以準確測定LED器件的厚度和光學常數(shù)。用于研究和工業(yè)應用。厚度和折射率的準確控制對弈器件性能的優(yōu)化和工業(yè)質(zhì)量的控制至關重要。

HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具

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