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    • RH50 OTSUKA大冢-高速近場配光測量系統(tǒng) 對應(yīng)微LED等微小樣品的配光測定系統(tǒng)RH50.。 與光學(xué)模擬軟件的聯(lián)合是可能的,可以簡單地高速取得2π空間全方位的光線。50×50mm尺寸以上請看GP-7 series。OTSUKA大冢-高速近場配光測量系統(tǒng)RH50OTSUKA大冢-高速近場配光測量系統(tǒng)RH50
    • SF-3Rθ OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng) *多可以快速映射12inch晶片OTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-高速晶圓厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
    • SF-3Rθ OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能,是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
    • SF-3AAF OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能,是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAFOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAFOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAF
    • SF-3AA OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能,是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AA
    • GS-300 OTSUKA大冢-負(fù)載端口對應(yīng)膜厚測量系統(tǒng) 搭載模式匹配功能,X-Y定位精度在2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-負(fù)載端口對應(yīng)膜厚測量系統(tǒng)GS-300OTSUKA大冢-負(fù)載端口對應(yīng)膜厚測量系統(tǒng)GS-300OTSUKA大冢-負(fù)載端口對應(yīng)膜厚測量系統(tǒng)GS-300
    •  SF-3/200 OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計 用非接觸的溫哈和樹脂的超高速實時、高精度的測量。OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/200OTSUKA大冢-超高速分光干擾式厚度計SF-3/200
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    • OTSUKA大冢-線掃描膜厚計 在線薄膜生產(chǎn)現(xiàn)場能夠?qū)Ρ∧さ哪ず襁M(jìn)行全幅、全長測量的裝置。 通過在獨(dú)自的分光干涉法中組合新開發(fā)的高精度膜厚演算處理技術(shù),以每*短0.01秒的測定間隔,可以進(jìn)行500mm寬(1臺使用時)的薄膜的膜厚測定。OTSUKA大冢-線掃描膜厚計OTSUKA大冢-線掃描膜厚計
    •  FE-5000S OTSUKA大冢-分光器 除了能夠高精度的薄膜解析的分光中,通過實現(xiàn)測量角度的自動可變機(jī)構(gòu),也對應(yīng)于所有種類的薄膜。除以往的旋轉(zhuǎn)檢光子法之外,通過設(shè)置相位差版的自動脫穿機(jī)構(gòu),提高了測定精度。OTSUKA大冢-分光器FE-5000SOTSUKA大冢-分光器FE-5000SOTSUKA大冢-分光器FE-5000S
    •  FE-5000 OTSUKA大冢-分光器 除了能夠高精度的薄膜解析的分光中,通過實現(xiàn)測量角度的自動可變機(jī)構(gòu),也對應(yīng)于所有種類的薄膜。除以往的旋轉(zhuǎn)檢光子法之外,通過設(shè)置相位差版的自動脫穿機(jī)構(gòu),提高了測定精度。OTSUKA大冢-分光器FE-5000OTSUKA大冢-分光器FE-5000OTSUKA大冢-分光器FE-5000
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