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AP160Mは半導(dǎo)體製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管內(nèi)の圧力を自動調(diào)整するコントローラです。圧力センサを內(nèi)蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソ レノイドバルブをパルス幅変調(diào)により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設(shè) 定圧力に達(dá)します。圧力ロ継手は1／4"VCR相當(dāng)品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導(dǎo)體プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。
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AP150Nは空気や窒素等の不活性ガスを制御対象として、配管內(nèi)の圧力や流量を制御するのに適したコントローラです。 圧力センサを內(nèi)蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありませんが、別のセンサを取付け、利用することも可能です。 *大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種類があります。AP150Nモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調(diào)により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設(shè)定圧力に達(dá)します。
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P100N 搭載世界*小壓力設(shè)定單元 氣缸等氣壓由1臺控制 一般用壓力控制器 微小流量型AP100N 是一款控制器，適用于控制空氣和氮氣等惰性氣體的內(nèi)部壓力，如氣缸和相對較小的儲罐，通過控制兩個開/關(guān)閥的打開時間來調(diào)節(jié)壓力。 內(nèi)置壓力傳感器，無需向外部添加傳感器，但也可以安裝和使用其他壓力傳感器。 *大控制壓力約為 650kPa，具體取決于連接的氣缸等內(nèi)部容量，但大約在 0.5 秒內(nèi)達(dá)到設(shè)定壓力。
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中流量から大流量まで対応 素子の選定により50NLMから500NLMまで対応可能 全流方式の流量計測?制御であり、流入する???の一時的な水分混入や凝縮に強(qiáng)い 高速実流量応答制御実現(xiàn) ???系の溫度?圧力情報も出力できるため、???供給系の診斷に*適
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