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產品詳情
  • 產品名稱:OTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計

  • 產品型號:OPTM series
  • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
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簡單介紹:
OPTM series OTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計OPTM seriesOTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計OPTM seriesOTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計OPTM series
詳情介紹:

OPTM series
   OTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計


利用顯微分光的微小領域的**反射率測量,高精度的膜厚·光學常數(shù)解析可能的裝置。
各種薄膜、晶片、光學材料等涂層膜的厚度和多層膜可以非破壞、非接觸測量.。測定時間是能夠進行1秒/point的高速測定的,即使是初次測定的,也搭載了能夠簡單解析光學常數(shù)的軟件。

特長:
OTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計OPTM seriesOTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計OPTM seriesOTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計OPTM seriesOTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計OPTM seriesOTSUKA大冢- 顯微分光膜厚計OPTM series
將膜厚測量所需的功能集中在頭部!

高精度的**反射率測量(多層膜厚,光學定數(shù))

1點1秒以內的高速測量

在顯微鏡下實現(xiàn)廣闊的測量波長范圍的光學系統(tǒng)(紫外線-近紅外線)

區(qū)域傳感器的**機構

即使是**次進行光學定數(shù)解析的輕松解析危機

可定制測量序列的宏功能

對應各種定制

試料の形狀?部位に応じて容易に測定シーケンスをカスタマイズ可能


仕様

仕様

OPTMの仕様

 

構成図

OPTMの構成図(自動XYステージタイプ)
自動XYステージタイプ

測定項目
  • 絶対反射率測定
  • 膜厚解析
  • 光學定數(shù)解析(n:屈折率、k:消衰係數(shù))

反射率



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