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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機(jī)ET4000Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機(jī)ET4000Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機(jī)ET4000
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Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機(jī)ET4000
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Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機(jī)ET4000
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測定機(jī)ET4000
微細(xì)形狀測定機(jī)
ET4000系列
· 高精度．安定性．機(jī)能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。
· 是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)，針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
· ET4000A/ ET4000AK一可實現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
· ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。
· ET4300一適合12"樣品測量。
| *大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
| 測定范圍 | Z:100μm X:100～305mm (Y移動量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1μm |
| 測定力 |
0.5μN(yùn)~500μN(yùn) (0.05mg-50mg) |
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