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產(chǎn)品詳情
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Kosaka小板研究所輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651DKosaka小板研究所輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651DKosaka小板研究所輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651D
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Kosaka小板研究所輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651D
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Kosaka小板研究所輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651D
Kosaka小板研究所輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651D
輪廓形狀測(cè)定機(jī)
EF651D
· 采用數(shù)字式傳感器、執(zhí)行高精度的輪廓形狀評(píng)價(jià)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
· 多種解析功能：方位向量解析、滾珠螺桿解析、非球面解析。
| 測(cè)定范圍 | Z:60mm X:100mm |
|---|---|
| 測(cè)定精度 | 士(0.8+2H/100)μm |
| 觸針/測(cè)定力 | R25μm 30mN以下 |
| 測(cè)定角度 | 上坡77° 下坡87° |
| 解析 | 要素解析/方位向量/MASTER比較/ 滾珠螺桿/非球面解析 |
| 分解能 | Z:0.025μm |
| 直線度精度 | 1.0μm/100mm |
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