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產品詳情
簡單介紹：
除了可實現(xiàn)高精度薄膜分析的光譜橢偏儀外，我們還通過實施自動可變測量機制支持所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉光子檢測器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機制來提高測量精度。
詳情介紹：
- 橢偏參數可以在紫外-可見光 (300-800 nm) 波長范圍內測量。
- 納米級多層薄膜厚度分析成為可能
- 可以通過 400 個或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓偏光
- 支持通過可變反射角測量對薄膜進行詳細分析
- 通過創(chuàng)建光學常數數據庫和添加配方注冊功能提高了可操作性。
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