主要特長

  • 非常適用于實(shí)驗(yàn)?研發(fā)之用途。
  • 緊湊型設(shè)計(jì)(600×600mm),可在桌面上安裝使用。
  • 搭載UV LED爆光燈房標(biāo)準(zhǔn)(有效曝光范圍φ4″)。
  • 接觸式曝光模式(可支持其他的曝光模式,為選購項(xiàng))。
  • 完全手動操作,價格公道合理。
Desktop Mask Aligner

主要規(guī)格

DA-1000
Wafer Size ?2″ , ?3″ and max. ?4″
Mask Size 5″ x 5″
Alignment Scope 8 times
Lamp House UVLED (365 nm or 405 nm)
Illumination Intensity Max. 14 mW /? (365 nm) or Max. 20 mW /? (405 nm)