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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:描畫(huà)圖形裝置日本DNK蘇州銷售MX-1201E

    • 產(chǎn)品型號(hào): MX-1201E
    • 產(chǎn)品廠商:DNK 科研
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡(jiǎn)單介紹:
    利用獨(dú)自的高速描畫(huà)「Point Array方式」技術(shù)直接描畫(huà)圖形的裝置。 主要特長(zhǎng) 能夠用于研究開(kāi)發(fā)、試作、小批量生產(chǎn)等的直描曝光。 能夠?qū)?yīng)半導(dǎo)體、電子零件、優(yōu)異PCB、高密度封裝件、MEMS、FPD等的曝光。 由于在光刻工藝中不需要掩膜,因而可以*大限度地降低開(kāi)發(fā)成本和縮短市場(chǎng)供應(yīng)時(shí)間。 此外,還可以根據(jù)客戶需求,提供相應(yīng)的裝置構(gòu)造。
    詳情介紹:

    主要規(guī)格

    型式 MX-1201 MX-1201E MX-1205
    *小線幅 (※1) [μm] 5 3 2 1
    數(shù)據(jù)分辨率 [μm] 0.488 0.25 0.1 0.05
    *大基板尺寸 [mm] 200 x 200 200 x 200 100 x 100
    有效曝光范圍 [mm] 200 x 200 200 x 200 100 x 100
    激光主波長(zhǎng) [nm] 405 375 405 + 375 405 375 375
    曝光掃描速度 [mm/s] 43.94 22.5 9 4.5
    節(jié)拍時(shí)間 [s,min] 180 [s] 320 [s] 16 [min] 27 [min]
    *大曝光量 [mJ/c㎡] 245 70 245 + 70 460 135 50 100

    ※1 因光刻膠和顯影條件而異。

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