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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
QV-U404P1N-D QV-U404T1N-D
光學(xué)レンズで測(cè)定物を拡大撮像。軽薄短小な電子半導(dǎo)體部品、微小な精密加工品醫(yī)療機(jī)器部品などの測(cè)定に有用性を示します。
非接觸測(cè)定のため、測(cè)定物へのダメージの恐れがありません。清浄度が求められる電子半導(dǎo)體部品、樹脂成形品などの軟質(zhì)物、プレス成形品などの薄物の測(cè)定に適しています。
培われた畫像処理技術(shù)と高速ステージ制御による高スループット測(cè)定が可能。測(cè)定項(xiàng)目が多い、あるいは量産される測(cè)定物の工程管理に適しています。
高精度な非接觸高さ測(cè)定が可能です高性能な畫像オートフォーカスや非接觸変位センサにより、高精度な高さ測(cè)定が可能です。
タッチトリガープローブとの併用で、測(cè)定物を回転させずに任意の高さで側(cè)面も測(cè)定でき、従來は困難であった立體物の測(cè)定も可能です。
QVシリーズは高性能畫像オートフォーカスを標(biāo)準(zhǔn)裝備しており、畫像オ
詳情介紹:
規(guī)格
符號(hào) | QV-U404P1N-D | QV-U404T1N-D |
---|---|---|
測(cè)定範(fàn)囲(XxYxZ)(mm) |
400×400×200 |
400×400×200 |
*小表示量(μm) |
0.01 |
0.01 |
測(cè)定精度(E1XY軸)(um) |
(0.25+L/1000) |
(0.25+L/1000) |
測(cè)定精度(E1Z軸)(um) |
(1.5+2L/1000) |
(1.5+2L/1000) |
測(cè)定精度(E2XY平面)(um) |
(0.5+2L/1000) |
(0.5+2L/1000) |
ULTRA 測(cè)定精度(E1Z軸)(um)(50mmストローク時(shí)) |
(1.0+2L/1000) |
(1.0+2L/1000) |
カメラ |
CCD白黒カメラ |
CCD白黒カメラ |
観察裝置 |
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 |
プログラム制御パワータレット 1X,2X,6X系 |
照明 垂直落射照明 |
ハロゲン |
ハロゲン |
照明 透過照明 |
ハロゲン |
ハロゲン |
照明 リング照明 |
ハロゲン |
ハロゲン |
溫度補(bǔ)正機(jī)能 |
自動(dòng)溫度補(bǔ)正 |
自動(dòng)溫度補(bǔ)正 |
供給空気流量(L/min)(ANR) |
300 |
300 |
使用空気圧(MPa) |
0.4 |
0.4 |
精度保証 光學(xué)條件 |
対物レンズ5x(パワータレット2x) |
対物レンズ5x(パワータレット2x) |
精度保証 溫度(℃) |
19?23 |
19?23 |
精度保証 溫度変化(℃/H) |
0.5/1,1/24 |
0.5/1,1/24 |
測(cè)定物 *大積載質(zhì)量(kg) |
40 |
40 |
本體質(zhì)量(設(shè)置臺(tái)含む)(kg) |
2025 |
2025 |
載物ガラス寸法(mm) |
493×551 |
493×551 |
本體外観寸法(WxDxH)(mm) |
1190×1735×1910 |
1190×1735×1910 |
TAF LAF繰返し精度 *大(um) |
σ≦0.8 |
|
搭載可能機(jī)能 TAF |
トラッキングオートフォーカス裝置 |
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