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產品詳情
簡單介紹:
L-OFM10062MN L-OFM14073MN L-O***0083MN L-O***5089MN L-OFM30093MN
L-OVM20117MN L-OVM20118MN-BS L-OVM50167MN L-OVM50170MN-BS
使用具有大量像素的線傳感器攝像機進行檢查
平板顯示基板的精細圖案檢查
印刷電路板等的精細圖案檢測
半導體晶圓等的精細圖案檢測
詳情介紹:
類型表達式 | L-OVM20118MN-BS | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
使用放大倍率范圍 | -1x~-2x | |||||
放大倍數 | -1x | -1.2x | -1.4x | -1.6x | -1.8x | -2x |
焦距 | 105.1mm(-1x) | |||||
F 編號(∞) | F2.8 | |||||
NA | 0.092 | 0.099 | 0.105 | 0.110 | 0.114 | 0.118 |
參考波長 | 546.07nm(e-line) | |||||
使用波長范圍 | 400nm~700nm | |||||
圖像圓 | Φ86.4mm | |||||
對象大小 ※1 | Φ86.4mm | Φ72mm | Φ61.7mm | Φ54mm | Φ48mm | Φ43.2mm |
畸變畸變 ※1 | +0.2% | +0.1% | +0.0% | +0.0% | -0.0% | -0.0% |
周邊照度比 ※1 | 82.2% | 86.8% | 90.1% | 92.4% | 93.8% | 94.5% |
光圈刻度 | 2.8 4 5.6 8 11 | |||||
物體圖像間距離 | 443.8mm | 448.7mm | 458.6mm | 464.8mm | 486.7mm | 503.4mm |
工作距離 | 179.8mm | 162.1mm | 149.2mm | 139.3mm | 131.6mm | 125.3mm |
安裝 | M67(P=0.75) | |||||
法蘭背 | 107.3mm | 129.9mm | 152.6mm | 175.4mm | 198.3mm | 221.4mm |
過濾器尺寸 | M67(P=0.75) | |||||
外形尺寸 ※2 | Φ90mm x 156.8mm | |||||
質量 | 約1750克 |
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