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產品詳情
簡單介紹：
主な用途
枚葉式洗浄裝置のチャンバー圧力制御
クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御
排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス
液晶のエア?ナイフ槽の排気圧力コントロール
クリーンブース內の排気圧力コントロール
詳情介紹：
項 目 EPS-5200 EPS-5150 EPS-5100
接続パイプ口徑 200A 150A 100A
流量範囲 （1次側） 0.5 ～ 15 Nm3/min 0.5 ～ 10 Nm3/min 0.3～ 5 Nm3/min
流量が*低流量に満たない場合には設定圧力に到達しない場合があります。
圧力損失 15 Nm3/min（Air）で50Pa 10 Nm3/min（Air）で20Pa以下 10 Nm3/min（Air）で20Pa以下
コントロールバルブ取合い 200A配管出し 150A配管出し 100A配管出し
調整圧力範囲 （1次側圧力） -50 ～ -999Pa （大気圧との差圧?2次側圧力に依存します）
2次側圧力（バルブ下流圧力） （制御圧力-50）Pa以下
差圧がこの數(shù)値より小さい場合、1次側調整範囲が狹くなります。
圧力精度 ±2% フルスケール
制御リップル （定常制御時の変動） ±1% フルスケール （2次側圧力変動±10Pa以內）
耐圧 （1次側の圧力） 50kPa （大気圧との差圧） 以內
応答性 設定の98%に対し2秒以內 （Typical）
流體溫度 10 ～ 50℃
本體環(huán)境溫度 （精度保証溫度） 15 ～ 35℃
電源電圧 24V DC ± 10%
外部出力 圧力信號 ： 1 ～ 5V DC
アラーム ： NPN ???????????????? DC 30V < 100mA
コントローラ （CD-100） 現(xiàn)場設定もしくは外部設定切換え可能
外部設定信號 圧力設定信號 ： 4 ～ 20mA
バルブ ： 強制オープン、コントロール
（オプション） Control / Open （C/O） ： 24V DC ON/OFF
アラーム信號 圧力差異 （任意設定）
本體異常 （圧力??????の異常も含む）
シリアル通信 RS485
供給Air （N2） 圧力 0.3±0.1MPaG
各ポート Φ6mm ワンタッチ（バルブ,電空部）
Φ4㎜ワンタッチ（圧力計測用）
バルブへの供給配管任意
接ガス材質 PVC, バイトン, EPDM
取り付け姿勢 自由
コントロール弁狀態(tài) 電源OFF時、バルブ狀態(tài)保持
パイプ徑、流量?圧力等上記仕様外のご要望の場合は別途ご相談願います。
排気流量制御が必要な場合は型式DPFCシリーズを準備しております。別途ご相談願います。
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