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產品詳情
  • 產品名稱:SAMCO等離子體CVD裝置 PD-3800L

  • 產品型號:
  • 產品廠商:SAMCO薩姆肯
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簡單介紹:
小直徑晶片多片處理用等離子體CVD裝置
詳情介紹:

概述

PD-3800L 是一種大規(guī)模生產的等離子 CVD 設備,可在 ±360mm 的大面積托盤中同時安裝多個小直徑晶圓。 配備負載鎖室,工藝穩(wěn)定性好。 各種硅基薄膜(SiO+、SiN、非晶硅等)可以形成,作為化合物半導體和硅工藝中的層間絕緣膜和鈍化膜。

特點

可在小直徑晶圓的多片同時成膜
×360mm的大面積托盤中同時成膜多張小直徑晶圓。 (φ2“×26張、φ3”×12張、φ4“×7張、φ6”×3張)

優(yōu)異的托盤面內均勻性
獨特的反應室結構,實現了優(yōu)異的面內均勻性和批次間穩(wěn)定性。

負載鎖定室可實現
穩(wěn)定的工藝。

應用示例

可以形成
氮化硅膜、氧化硅膜和非晶硅膜,形成各種硅基薄膜。

選項

晶圓移載機允許在盒式?托盤之間自動輸送,從而節(jié)省勞動力并提高產量。

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