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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
IPA、純水、化學(xué)溶液等半導(dǎo)體制造過程中微區(qū)域的流量管理
·從1ml/min開始的微流量測定
·通過數(shù)字信號處理進(jìn)行微流量高精度測定
·傳感器部分與流體非接觸的結(jié)構(gòu)
· 寬范圍能力
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
■微小液體流量計(jì)（傳感器分離型）
μLF-300S
| 類型表達(dá)式 | μLF-300S = μLT-8I （1/8 英寸） 或 μLF-300S = μLT-4I （1/4 英寸） |
| 測量原理 | 超聲波傳播時差方法 |
| 測量液體 |
純水、水溶液、各種化學(xué)溶液 * 對于水以外的液體，請事先確認(rèn) |
| 自適應(yīng)流體溫度范圍 |
在 15°C 至 80°C * 60°C 或更高溫度下使用時，請?zhí)崆按_認(rèn) |
| 流體壓力 | 0.5MPa 或更少 |
| 流體運(yùn)動粘度 | 100mm^2/秒以下 |
| 流量范圍 |
0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
| 測量精度 |
±0.5%RD （1/8 英寸 ： 200 至 1000 毫升/分鐘條件： 室溫， 恒溫水） ± 1 毫升/分鐘 （1/8 英寸 ： 0 至 199 毫升/分鐘） ± 0.5% RD （1/4 英寸）： 800 至 4000 毫升/分鐘 條件： 室溫， 恒溫水） ± 4 毫升/分鐘 （1/4 英寸）： 0 至 4 英寸 799ml/min) |
| 可重復(fù)性 | ±0.2%（純、液溫±0.5°C，30秒平均值） |
| 電源 | DC 24V ±10% |
| 功耗 | 3.6W 或更少 |
| 重量 | 轉(zhuǎn)換器 240g，檢測單元 70g |
| 尺寸 WxHxD（毫米） |
轉(zhuǎn)換器 97 x 49 x 127 檢測單元 90 x 25 x 20（不包括管） |
| 檢測部 | |
| 管材 | PFA（氟樹脂） |
| 管徑 | 1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm, 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
| 結(jié)構(gòu) | 相當(dāng)于IP65 |
| 隨附的電纜 | 5m，連接器連接 |
| 輸入部分 | |
| 數(shù)字輸出 | 4 線 RS-422，4 線 RS-485 |
| 模擬輸出 | 4-20mA（瞬時流量），負(fù)載電阻 500Ω 或更少 |
| 累計(jì)脈沖輸出 | 1ch（開放式收集器） |
| 報警輸出 | 1ch（開放式收集器） |
| 觸點(diǎn)輸入 | 1ch （ 零流量設(shè)定或累計(jì)** ） |
| 按鍵輸入 | 4 輸入按鈕 |
■微少液體流量計(jì)（一體型）
μLF-300
| 変換器 | |
| 型式 | μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch) |
| 測定原理 | 超音波伝播時間差方式 |
| 被測定液體 |
純水、水溶液、各種薬液 * 水以外の液體の場合は事前にご確認(rèn)ください |
| 適応流體溫度範(fàn)囲 |
10℃～60℃ * 60℃以上の場合は事前にご確認(rèn)ください |
| 環(huán)境溫度範(fàn)囲 | 溫度：0℃～50℃(結(jié)露がないこと） |
| 流量範(fàn)囲 |
0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-308I) 0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-304I) |
| 測定精度 |
±1%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min, 室溫, 水の場合) ±2ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min) ±1%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min, 室溫, 水の場合) ±8ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min) |
| 繰返し性 | ±0.2% (液溫±0.5℃, 30秒平均値) |
| 応答性 | 10 msec |
| 構(gòu)造 | 屋內(nèi)仕様 (IP65相當(dāng)) |
| 電源 | DC 5V ±10% |
| 消費(fèi)電力 | 1.5W以下 |
| 重量 | 350g (本體部のみ) |
| 檢測部 | |
| 管材 | PFA（氟樹脂） |
| 管徑 |
1/8 inch OD: 3.17mm, ID: 2.17mm 1/4 inch OD: 6.35mm, ID: 4.35mm |
| 輸出部分 | |
| 串行端口 | 4 線 RS-422 |
| 通信協(xié)議 | 數(shù)據(jù)位 8 位固定，偶數(shù)奇偶校驗(yàn)固定，停止位 1 位固定 |
| 波特率 | 38400 baud |
| 串行輸出內(nèi)容 | 瞬時流量值、累計(jì)流量值、錯誤代碼 |
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