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紫外可見光光度計(jì)
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) - SpinCoater -MS-B150 系列
|
膜厚測量裝置 |
FILMETRICS制 F50 |
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光刻劑 |
OFPR-800LB（東京奧卡制造） |
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基板尺寸 |
6 inch硅晶圓 |
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目標(biāo)膜厚 |
1微米 |
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膜厚分布 |
±0.6% |
功能
■ 采用AC伺服電動機(jī)
● 無刷式，不會造成無塵室汚染。
● 減少電動機(jī)發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時的溫度上升造成對膜厚再現(xiàn)性的影響。
● 電力消費(fèi)低，減低環(huán)境的負(fù)擔(dān)。
■ 擴(kuò)張程序功能
● *多有100階段程序、可記憶10種模式，更容易使用。
■ 所有機(jī)型皆標(biāo)準(zhǔn)配備數(shù)字式真空計(jì)
■ 方形基板等可設(shè)定停止時位置，超方便
■ **裝置機(jī)構(gòu)（真空壓及蓋子）
● 由于薄膜或晶圓容易破裂， 而降低吸附壓力時，可以變更**裝置機(jī)構(gòu)（真空）的稼動壓力。
蘇州代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B150
無錫代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B150
昆山代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B150
上海代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B150
南京代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-B150
刷涂機(jī)、刮涂機(jī)、噴涂機(jī)
聯(lián)系人：李先生 13402684488（微信同號）
對準(zhǔn)曝光機(jī)
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
顯影刻蝕裝置
2.如有必要,請您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!
