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加熱器
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
旋轉(zhuǎn)涂布機涂布機.com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用時，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ8英寸晶圓或150×150mm基板 |
| 轉(zhuǎn)速（rpm） | 20～5,000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1rpm（負載時） |
| 電機 | 交流伺服電機 |
| 蓋 | 聚碳酸酯 |
| 旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 | φ360mm |
| 步驟模式數(shù) | 100 步× 10 模式 |
| 時間設置 | 999.9sec |
| **聯(lián)鎖 |
真空標準蓋 標準設備 |
| 滴落設備 | 選項 |
| 使用真空壓力 | -0.08～-0.1MPa |
| 電源 | AC100～240V 5A |
| 外形尺寸（mm） | 500W×335H×583D |
| 重量 | 28kg |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持選項
| <定制類型> | >支持<的型號 | |
|---|---|---|
| 自動滴落裝置（空氣驅(qū)動） | 1 臂 | ○ |
| 2 臂 | ○ | |
| 自動滴落裝置（支架類型） | ○ | |
| 邊緣沖洗 | ○ | |
| 反向沖洗 | ○ | |
| 排氣管 | ○ | |
| 廢液排放 | ○ | |
| 蓋子限位開關 | ○ | |
| 特氟龍涂層加工 | ○ | |
| 添加電機廢熱風扇 | ○ | |
| 緊急停止開關 | ○ | |
| 大功率電機 | ||
膜厚分布數(shù)據(jù)
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| 使用的型號 | MS-B200 |
| 薄膜厚度測量設備 | 菲梅特里克斯F50 |
| 電阻 | OFPR-800LB（東京應化社制） |
| 電路板尺寸 | φ8英寸硅晶片 |
| 目標厚度 | 1μm |
| 薄膜厚度分布 | ±0.5％ |
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