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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機、NEWKON新光、TOKISANGYO東機產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
光刻.com從旋涂機（涂布機）到掩模對準(zhǔn)器（曝光裝置），以及用于開發(fā)和蝕刻的研究實驗室機器。
此外，作為測量，我們還處理各種測量機，用于薄膜厚度測量、階梯測量、線寬和形狀測量。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ12英寸晶圓或200×200mm基板 |
| 轉(zhuǎn)速（rpm） | 20～5,000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1rpm（負(fù)載時） |
| 電機 | 交流伺服電機 |
| 蓋 | 聚碳酸酯 |
| 旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 | φ500mm |
| 步驟模式數(shù) | 100 步× 10 模式 |
| 時間設(shè)置 | 999.9sec |
| **聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)準(zhǔn)蓋 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 |
| 滴落設(shè)備 | 選購件（*多可安裝 2 個臂） |
| 使用真空壓力 | -0.08～-0.1MPa |
| 電源 | AC200 至 240V 單層 5A |
| 外形尺寸（mm） | 545W×432H×654D |
| 重量 | 55kg |
| 選項 | 居中夾具 |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
膜厚分布數(shù)據(jù)
↑Click Zoom
| 使用的型號 | MS-B300 |
| 電阻 | OFPR-800LB（東京應(yīng)化社制） |
| 電路板尺寸 | φ12英寸硅晶片 |
| 目標(biāo)厚度 | 1μm |
| 薄膜厚度分布 | ±0.8％ |
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