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產品詳情
簡單介紹：
由于旋涂機應用機（MIKASA）的產品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現性。
詳情介紹：
產品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ4英寸晶圓或75×75mm基板 |
| 速度（轉/分） | 20~8，000 |
| 旋轉精度 | ±1轉/分（負載時） |
| 發(fā)動機 | 交流伺服電機 |
| 蓋 | 丙烯酸 |
| 旋轉室直徑 | φ220毫米 |
| 步進模式數 | 100 步× 10 種模式 |
| 時間設置 | 999.9秒 |
| **聯(lián)鎖 |
真空標準 蓋可選 |
| 滴水裝置 | 不可連接 |
| 使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 權力 | 交流100~240V 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 259W×246H×330D |
| 重量 | 10公斤 |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持的選項
| <定制類型> | <兼容型號> | |
|---|---|---|
| ?自動滴水裝置（氣動型） | 1 臂 | |
| 2 臂 | ||
| ?自動滴水裝置（支架式） | ||
| ?漱邊 | ||
| ?背部沖洗 | ||
| ?排氣管 | ○ | |
| ?廢液排放 | ○ | |
| ?鄰苯二甲酰亞胺開關 | ○ | |
| ?特氟龍涂層 | ○ | |
| ?增加電機余熱風扇 | ○ | |
| ?急停開關 | ○ | |
| ?大功率電機 | ||
薄膜厚度分布數據
| 使用的型號 | MS-B100 |
| 薄膜厚度測量裝置 | 菲爾計量 F50 |
| 抵抗 | OFPR-800LB （東京大鹿） |
| 電路板尺寸 | φ4英寸硅片 |
| 目標膜厚度 | 1微米 |
| 薄膜厚度分布 | ±0.8% |
蘇州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
南京代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
常州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
上海代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
武漢、長沙、合肥、杭州、貴陽、蕪湖
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