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加熱器
產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
由于旋涂機應用機（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ12英寸晶圓或200×200mm基板 |
| 速度（轉(zhuǎn)/分） | 20~5，000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1轉(zhuǎn)/分（負載時） |
| 發(fā)動機 | 交流伺服電機 |
| 蓋 | 聚碳酸酯 |
| 旋轉(zhuǎn)室直徑 | φ500毫米 |
| 步進模式數(shù) | 100 步× 10 種模式 |
| 時間設(shè)置 | 999.9秒 |
| **聯(lián)鎖 |
真空標配設(shè)備蓋標配設(shè)備 |
| 滴水裝置 | 可選（*多可連接 2 個臂） |
| 使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 權(quán)力 | AC200~240V 單層 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 545W×432H×654D |
| 重量 | 55公斤 |
| 選擇 | 定心夾具 |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持的選項
| <定制類型> | <兼容型號> | |
|---|---|---|
| ?自動滴水裝置（氣動型） | 1 臂 | ○ |
| 2 臂 | ○ | |
| ?自動滴水裝置（支架式） | ||
| ?漱邊 | ○ | |
| ?背部沖洗 | ○ | |
| ?排氣管 | ○ | |
| ?廢液排放 | ○ | |
| ?鄰苯二甲酰亞胺開關(guān) | ○ | |
| ?特氟龍涂層 | ○ | |
| ?增加電機余熱風扇 | ○ | |
| ?急停開關(guān) | ○ | |
| ?大功率電機 | ○ | |
選型支持 技術(shù)服務(wù) 售后安裝調(diào)試維修
蘇州代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機MS-B300
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上海代理MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂層機MS-B300
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