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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
由于旋涂機(jī)應(yīng)用機(jī)（MIKASA）的產(chǎn)品由于使用交流伺服電機(jī)而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現(xiàn)性。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ4英寸晶圓或75×75mm基板 |
| 速度（轉(zhuǎn)/分） | 20~8，000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1轉(zhuǎn)/分（負(fù)載時(shí)） |
| 發(fā)動(dòng)機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 蓋 | 丙烯酸 |
| 旋轉(zhuǎn)室直徑 | φ220毫米 |
| 步進(jìn)模式數(shù) | 100 步× 10 種模式 |
| 時(shí)間設(shè)置 | 999.9秒 |
| **聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)準(zhǔn) 蓋可選 |
| 滴水裝置 | 不可連接 |
| 使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 權(quán)力 | 交流100~240V 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 259W×246H×330D |
| 重量 | 10公斤 |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持的選項(xiàng)
| <定制類型> | <兼容型號(hào)> | |
|---|---|---|
| ?自動(dòng)滴水裝置（氣動(dòng)型） | 1 臂 | |
| 2 臂 | ||
| ?自動(dòng)滴水裝置（支架式） | ||
| ?漱邊 | ||
| ?背部沖洗 | ||
| ?排氣管 | ○ | |
| ?廢液排放 | ○ | |
| ?鄰苯二甲酰亞胺開關(guān) | ○ | |
| ?特氟龍涂層 | ○ | |
| ?增加電機(jī)余熱風(fēng)扇 | ○ | |
| ?急停開關(guān) | ○ | |
| ?大功率電機(jī) | ||
薄膜厚度分布數(shù)據(jù)
| 使用的型號(hào) | MS-B100 |
| 薄膜厚度測(cè)量裝置 | 菲爾計(jì)量 F50 |
| 抵抗 | OFPR-800LB （東京大鹿） |
| 電路板尺寸 | φ4英寸硅片 |
| 目標(biāo)膜厚度 | 1微米 |
| 薄膜厚度分布 | ±0.8% |
蘇州代理MIKASA 真空鍍膜機(jī)MS-B100
南京代理MIKASA 真空鍍膜機(jī)MS-B100
常州代理MIKASA 真空鍍膜機(jī)MS-B100
上海代理MIKASA 真空鍍膜機(jī)MS-B100
武漢、長(zhǎng)沙、合肥、杭州、貴陽(yáng)、蕪湖
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