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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：江蘇KOSAKA小坂臺階儀微細形狀測定機ET200A

  • 產(chǎn)品型號： ET200A
  • 產(chǎn)品廠商：KOSAKA小坂臺階儀
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。
詳情介紹：

 臺階儀ET200A產(chǎn)品參數(shù)

 

*大試片尺寸 Φ200mm×高度50mm
重現(xiàn)性 1σ ≤ 1nm
測定范圍 Z:600um X:100mm
分解能 Z:0.1nm X:0.1um
測定力 10UN~500UN (1mg-50mg)
載物臺 Φ160mm, 手動360度旋轉(zhuǎn)

ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半 導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、 薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高 精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。

 

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