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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:浙江HORIBA崛場半導(dǎo)體熱式氣體分流器FS-3000

    • 產(chǎn)品型號: FS-3000
    • 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    浙江區(qū)域供應(yīng)HORIBA崛場半導(dǎo)體熱式氣體分流器FS-3000FS-3000 結(jié)合了 HORIBA STEC 質(zhì)量流量控制器(MFC)和 MuCube(主控制器)的功能。通過配備 HORIBA STEC 專有控制算法的 MuCube 控制 MFC,F(xiàn)S-3000 實現(xiàn)了穩(wěn)定的分流控制。
    詳情介紹:

    浙江區(qū)域供應(yīng)HORIBA崛場半導(dǎo)體熱式氣體分流器FS-3000 國內(nèi)各區(qū)域銷售


    控制算法通過控制流量比實現(xiàn)穩(wěn)定的分流控制,同時利用 HORIBA STEC 控制優(yōu)化技術(shù)控制 FS-3000 上流壓力。此外,即使分流比改變,控制算法也能實現(xiàn)對分流的高速響應(yīng)。

    • 提高可擴展性、維護性能。FS-3000 可通過高速信號處理分離多達 15 個通道。若 MFC 出現(xiàn)故障,僅需更換故障從機即可。
    • 靈活響應(yīng)所需規(guī)格 FS-3000 支持混合氣體在內(nèi)的多種氣體。此外,F(xiàn)S-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 等用戶接口。

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