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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：南京HORIBA崛場(chǎng)半導(dǎo)體質(zhì)量流量模塊D700T

    • 產(chǎn)品型號(hào)： D700T
    • 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場(chǎng)
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    總代HORIBA崛場(chǎng)半導(dǎo)體質(zhì)量流量模塊D700MG流量控制器 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設(shè)備，以實(shí)現(xiàn)未來的**，以及**的存儲(chǔ)和邏輯設(shè)備的實(shí)驗(yàn)室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號(hào)，以支持客戶的挑戰(zhàn)。
    詳情介紹：

    總代HORIBA崛場(chǎng)半導(dǎo)體質(zhì)量流量模塊D700MG 國內(nèi)各區(qū)域銷售



    • 總代HORIBA崛場(chǎng)半導(dǎo)體質(zhì)量流量模塊D700MG

    • 工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT 

      • 為流程優(yōu)化提供靈活性

    • 100 ms 響應(yīng)速度和mfc到mfc的偏差控制

      • 提供高生產(chǎn)力和更大的過程性能

    • 小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）

      • 為需要小流量的工藝提供靈活性

    • PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能

      • 穩(wěn)定性性和較小的顆粒風(fēng)險(xiǎn)，減少停機(jī)時(shí)間和優(yōu)化產(chǎn)量

    • 狀態(tài)監(jiān)控功能

      • 為更智能的故障預(yù)測(cè)提供更多的內(nèi)部數(shù)據(jù)

    *1 流量精度可低至2 SCCM，因此實(shí)際氣體低于2 SCCM以下不保證精度。
    *2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)條件下的保證值。
    *3 設(shè)定時(shí)間為 MFC 輸出信號(hào)和 N2 氣體。其他細(xì)節(jié)定義遵循“SEMI標(biāo)準(zhǔn) E17-1011章節(jié) 4.1.4”的設(shè)定時(shí)間。
    *4 壓力擾動(dòng)必須小于 20% 的壓力變化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
    *5 EtherCAT® 是注冊(cè)商標(biāo)和**技術(shù)，由德國 Beckhoff Automation GmbH 授權(quán)。


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