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  • 產品名稱:真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV 蘇州供應

  • 產品型號: UVISEL 2 VUV
  • 產品廠商:HORIBA堀場
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簡單介紹:
真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV 蘇州供應UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設計,整個系統處于真空狀態(tài),無氧氣吸收。具備高準確性;超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。光譜范圍可覆蓋147-2100nm。UVISEL 2 VUV能夠在充氮氣或抽真空模型下工作。整個機械設計經過優(yōu)化,氮氣消耗量低至6L/min,載樣速度快,2分鐘內即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。
詳情介紹:

真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV 蘇州供應

UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設計,整個系統處于真空狀態(tài),無氧氣吸收。具備高準確性;超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。光譜范圍可覆蓋147-2100nm。

UVISEL 2 VUV能夠在充氮氣或抽真空模型下工作。整個機械設計經過優(yōu)化,氮氣消耗量低至6L/min,載樣速度快,2分鐘內即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。

UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度,它集成了大功率雙光源、高通量光學系統以及CaF2光彈調制晶體和兩個時髦的單色儀。從147nm到850nm,樣品測量時間少于8分鐘,具有良好的信噪比。

UVISEL 2 VUV通過顯著減少氮氣消耗量、吹掃及測試時間,改變了VUV橢偏儀的世界。

DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析,輸出報告,以及自動操作的全部功能控制,用戶界面直觀、友好,非常適用于科研及工業(yè)客戶使用。

UVISEL 2 VUV測試速度快、運行成本低,使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動化。

橢圓偏振光譜儀和FTIR-ATR聯合表征納米級高K介電材料
橢圓偏振光譜儀和FTIR-ATR聯合表征納米級高K介電材料
在互補式金屬氧化物半導體(CMOS)中,正在研究用高K介質材料替代傳統的SiO2或SiOxNy柵極介電層。本文對鉿鋁氧化物(HfAlO)進行了研究,其物理性能滿足此類應用的需求。鋁酸鉿薄膜的結構和組成以及HfAlO/Si界面對CMOS器件的優(yōu)化具有非常重要的作用。文中采用兩VUV橢圓偏振光譜和紅外光譜(FTIR-ATR)共同表征薄膜的厚度、帶隙附近及以上光學的特性。


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