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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱: KOSAKA小坂膜厚儀探針接觸式臺(tái)階儀ET200A-3D

    • 產(chǎn)品型號: ET200A-3D
    • 產(chǎn)品廠商:KOSAKA小坂臺(tái)階儀
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
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    簡單介紹:
    國內(nèi)總代 KOSAKA小坂膜厚儀探針接觸式臺(tái)階儀ET200A-3D能**可靠地測量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD 原位采集設(shè)計(jì),可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài),更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。
    詳情介紹:

     國內(nèi)總代KOSAKA小坂膜厚儀探針接觸式臺(tái)階儀ET200A-3D



    日本小坂KOSAKA 臺(tái)階儀 | 微細(xì)形狀測定機(jī)ET200A概述

    ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析,包括半 導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、 薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高 精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號探針,提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD 原位采集設(shè)計(jì),可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài),更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。

    它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇,可實(shí)現(xiàn)高精度,高分辨率和出色的穩(wěn)定性,并且還支持測量力小的軟樣品表面。

    • ET200A:表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
    • ET200A-D:配備電動(dòng)Y軸單元
    • ET200A-3D:<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
    *大樣本量 Φ160×厚度52毫米
    再現(xiàn)性 1σ  0.3nm以內(nèi)
    測量范圍 Z軸:600微米 X:100毫米
    分辨率 Z軸:0.1納米 X:0.1微米
    測量力 10μN(yùn)~500μN(yùn)


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