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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
OPTM（Optim）是一種利用顯微分光在微區(qū)域進(jìn)行**反射率測量，可實(shí)現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的裝置。
涂層膜的厚度和多層膜（如各種薄膜、晶圓和光學(xué)材料）可以無損或非接觸式測量。 測量時間可以高速測量 1 秒/點(diǎn)。 此外，它配備了一個軟件，即使是初學(xué)者可以很容易地分析光學(xué)常數(shù)。
詳情介紹：
從運(yùn)動圖像測量到結(jié)果
特點(diǎn)
- 將薄膜厚度測量所需的功能整合到頭部
- 使用顯微分光進(jìn)行高精度**反射率測量（多層厚度、光學(xué)常數(shù)）
- 1 點(diǎn) 1 秒以內(nèi)的高速測量
- 光學(xué)系統(tǒng)，在顯微條件下實(shí)現(xiàn)寬測量波長范圍（紫外至近紅外）
- 帶區(qū)域傳感器的**機(jī)制
- 易于分析的向?qū)?，即使是初學(xué)者也能進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
- 具有可自定義測量序列的宏功能
- 可分析復(fù)雜的光學(xué)常數(shù)（多點(diǎn)分析）
- 支持 300mm 級
- 支持各種定制
規(guī)格
手勢
| 類型 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
| 波長范圍 | 230～800 nm | 360～1100 nm | 900～1600 nm |
| 薄膜厚度范圍*1 | 1 nm～35 μm | 7 nm～49 μm | 16 nm～92 μm |
| 樣本大小*2 | 高達(dá) 200×200×17 mm | ||
| 點(diǎn)直徑 | φ5、φ10、φ20、φ40 | ||
* 以上規(guī)格與自動XY級。
*1 薄膜厚度范圍為 SiO2轉(zhuǎn)換。
*2 關(guān)于300毫米級，請聯(lián)系我們。
| 類型 | 自動 XY 級類型 | 固定框架類型 | 嵌入式頭型 |
|
尺寸 （W×D×H） |
556×566×618 mm | 368×468×491 mm |
210×441×474 mm 90×250×190 mm* |
| 重量 | 66 kg | 38 kg |
23 kg 4 kg* |
| *大功耗 | AC100V±10V 500VA | AC100V±10V 400VA | |
*交流/直流電源單元
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