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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
我們的 MCPD 系列內(nèi)聯(lián)薄膜評估系統(tǒng)采用光學(xué)類型，可在非接觸式和無損條件下檢測薄膜厚度、濃度和顏色。
可測量薄膜厚度范圍為 65nm 至 92μm，從薄膜到厚膜。 （折射率為1.5時）
測量原理為分光干涉方式，在實現(xiàn)高測量再現(xiàn)性的同時，還支持多層厚度測量。 由于采用專有算法可實現(xiàn)高速實時監(jiān)控，因此我們提出了*適合在線膠片監(jiān)視器的系統(tǒng)。
詳情介紹：
特點
- 非常適合工藝過程中的薄膜高速測量
- *短曝光時間1ms~ ※根據(jù)規(guī)格
- 支持遠程測量
- 膜厚測定范圍65nm~92μm（SiO2轉(zhuǎn)換）
基本配置
多點測量點切換支持系統(tǒng)
在多點測量點切換兼容系統(tǒng)中，通過在TD方向上預(yù)先將多分支光纖安裝在任意寬度上，可以在不驅(qū)動光纖的情況下測量TD方向的薄膜厚度分布。 可用作涂層條件和實時監(jiān)視器。
探測器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是一種類型，可通過光纖光路切換進行多點測量。
遍歷單元對應(yīng)系統(tǒng)
在支持遍歷單元的系統(tǒng)中，通過在 TD 方向上驅(qū)動遍歷單元，可以測量 TD 方向上的薄膜厚度分布，范圍和間距均相同。 可用作涂層條件和實時監(jiān)視器。
無需多個探測器或數(shù)據(jù)處理，即可通過驅(qū)動遍歷單元進行多點測量。
即使在真空環(huán)境中也能進行多點反射和透射光譜測量
通過使用適用于各種法蘭的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射和透射光譜。 此外，薄膜厚度計算不受基膜上下運動的影響，并且通過采用大分電子專有的算法，可以**測量薄膜，可用作實時監(jiān)視器。
規(guī)格
MCPD-9800 規(guī)格
| 類型表達式 | MCPD-9800 | ||||||||
| 2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |||||
| 測量波長范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 | ||||
| 薄膜厚度范圍* | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm | ||||
| 薄膜厚度/反射/透射/延遲 | 〇 | ||||||||
| 顏色測量 | 〇 | × | |||||||
| 掃描時間 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||||||
| 點直徑 | φ1.2mm | ||||||||
| 纖維長度 | 1m~ 長度需要咨詢 | ||||||||
※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格
MCPD-6800 規(guī)格
| 類型表達式 | MCPD-6800 | |||
| 2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 測量波長范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 薄膜厚度范圍* | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測量 | 〇 | |||
| 掃描時間 | 16ms～65s | |||
| 點直徑 | φ1.2mm | |||
| 纖維長度 | 1m~ 長度需要咨詢 | |||
※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格
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