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日本OTSUKA大塚OPTM系列光學(xué)膜厚儀半導(dǎo)體多層膜測試橢偏儀
日本OTSUKA大塚OPTM系列光學(xué)膜厚儀半導(dǎo)體多層膜測試橢偏儀
顯微分光膜厚儀 OPTM SERIES
●非接觸 · 非破壞 · 顯微、對焦、測量1秒完成 ●OPTM系列顯微分光膜厚儀是一款可替代橢偏儀，測試膜厚、折射率n、消光系數(shù)k、**反射率的新型高精度、高性價比的分光膜厚儀。適用于各種可透光膜層的測試，并有****可針對透明基板去除背面反射，從而達(dá)到“真實(shí)反射率、膜厚”測試的目的。此外，軟件操作簡單、使用方便且簡化了復(fù)雜的建模流程
非接觸、非破壞式，量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi)
● 初學(xué)者也能輕松解析建模的初學(xué)者解析模式
● 高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內(nèi)的**反射率，可分析多層薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n：折射率、k：消光系數(shù)）
● 單點(diǎn)對焦加量測在1秒內(nèi)完成
● 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)（紫外 ~ 近紅外）
● 獨(dú)立測試頭對應(yīng)各種inline定制化需求
● *小對應(yīng)spot約3μm
● ****可針對超薄膜解析nk
日本OTSUKA大塚OPTM系列光學(xué)膜厚儀半導(dǎo)體多層膜測試橢偏儀，
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日本OTSUKA大塚OPTM系列光學(xué)膜厚儀半導(dǎo)體多層膜測試橢偏儀
