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主要特長 能夠進(jìn)行節(jié)拍時(shí)間約20秒(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格機(jī)，對位容許值設(shè)定為0.5μm時(shí)。不含曝光時(shí)間。)的高速曝光處理。 利用直讀式間隙傳感器與獨(dú)自的控制系統(tǒng),能夠高速度和高精度地設(shè)定掩膜與基板間的近接間隙 。 可配置嚴(yán)格控制處理部位溫度環(huán)境的溫控機(jī)房。為了防止因熱而引起的基板伸縮,還可選用基板臺溫度調(diào)控系統(tǒng)。 可選擇配置基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)，以防止掩膜及玻璃基板因溫度差而引起的伸縮。(
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主要特長 能夠進(jìn)行節(jié)拍時(shí)間約20秒(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格機(jī)，對位容許值設(shè)定為0.5μm時(shí)。不含曝光時(shí)間。)的高速曝光處理。 利用直讀式間隙傳感器與獨(dú)自的控制系統(tǒng),能夠高速度和高精度地設(shè)定掩膜與基板間的近接間隙 。 可配置嚴(yán)格控制處理部位溫度環(huán)境的溫控機(jī)房。為了防止因熱而引起的基板伸縮,還可選用基板臺溫度調(diào)控系統(tǒng)。 可選擇配置基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)，以防止掩膜及玻璃基板因溫度差而引起的伸縮。(
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主要特長 能夠進(jìn)行節(jié)拍時(shí)間約20秒(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格機(jī)，對位容許值設(shè)定為0.5μm時(shí)。不含曝光時(shí)間。)的高速曝光處理。 利用直讀式間隙傳感器與獨(dú)自的控制系統(tǒng),能夠高速度和高精度地設(shè)定掩膜與基板間的近接間隙 。 可配置嚴(yán)格控制處理部位溫度環(huán)境的溫控機(jī)房。為了防止因熱而引起的基板伸縮,還可選用基板臺溫度調(diào)控系統(tǒng)。 可選擇配置基板臺溫度控制系統(tǒng)及掩膜冷卻系統(tǒng)，以防止掩膜及玻璃基板因溫度差而引起的伸縮。(選購項(xiàng)) 能夠裝載存放5張掩膜的掩膜存放庫
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非常適用于實(shí)驗(yàn)?研發(fā)之用途。 緊湊型設(shè)計(jì)(600×600mm)，可在桌面上安裝使用。 搭載UV LED爆光燈房標(biāo)準(zhǔn)（有效曝光范圍φ4″）。 接觸式曝光模式（可支持其他的曝光模式，為選購項(xiàng)）。 完全手動操作，價(jià)格公道合理。
