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旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂布機(jī).com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機(jī)，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用時(shí)，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
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旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)涂布機(jī).com（Mikasa）的產(chǎn)品使用交流伺服電機(jī)，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用時(shí)，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
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支持?jǐn)[動(dòng)噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進(jìn)行編程輸入， 操作簡單*多可擴(kuò)充至 3 種藥液 連續(xù)進(jìn)行藥液、沖洗、排液處理 內(nèi)置藥液壓力推送泵
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支持?jǐn)[動(dòng)噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進(jìn)行編程輸入， 操作簡單*多可擴(kuò)充至 3 種藥液 連續(xù)進(jìn)行藥液、沖洗、排液處理 內(nèi)置藥液壓力推送泵
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支持?jǐn)[動(dòng)噴嘴式噴灑顯影及攪拌式顯影 考慮到耐藥性， 在接液部位使用 SUS 基板尺寸 Φ1～Φ6 Inch 通過液晶觸摸面板進(jìn)行編程輸入， 操作簡單*多可擴(kuò)充至 3 種藥液 連續(xù)進(jìn)行藥液、沖洗、排液處理 內(nèi)置藥液壓力推送泵
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■ 手動(dòng)操作、接觸式對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)。 ■ 依照不同需求以及成本考量?有準(zhǔn)直儀型?多面鏡型?整合（積算器）型三種曝光光源。 ■ 有可對(duì)應(yīng)5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各類機(jī)種。 ■ Mask Holder?載臺(tái)的更換作業(yè)簡單易行，可在1分鐘內(nèi)完成，適合用于研究開發(fā)。 ■ 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡的對(duì)物鏡可對(duì)應(yīng)高對(duì)準(zhǔn)精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。
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■ 特點(diǎn) ■ 手動(dòng)操作、接觸式對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)。 ■ 依照不同需求以及成本考量?有準(zhǔn)直儀型?多面鏡型?整合（積算器）型三種曝光光源。 ■ 有可對(duì)應(yīng)5×5mm~100×100mm以及1 inch~6 inch的基板的各類機(jī)種。 ■ Mask Holder?載臺(tái)的更換作業(yè)簡單易行，可在1分鐘內(nèi)完成，適合用于研究開發(fā)。 ■ 對(duì)準(zhǔn)顯微鏡的對(duì)物鏡可對(duì)應(yīng)高對(duì)準(zhǔn)精度或厚膜等用途，并且有4×、10×、20×三種。
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日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) - SpinCoater -MS-B150 系列 ■ 特點(diǎn) ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達(dá)到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實(shí)現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達(dá)旋轉(zhuǎn)數(shù)的時(shí)間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設(shè)備（MS-A150/MS-A200）
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日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) - SpinCoater -MS-B100 系列 ■ 特點(diǎn) ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達(dá)到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實(shí)現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達(dá)旋轉(zhuǎn)數(shù)的時(shí)間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設(shè)備（MS-A150/MS-A200）
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■ 特點(diǎn) ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達(dá)到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實(shí)現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達(dá)旋轉(zhuǎn)數(shù)的時(shí)間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設(shè)備（MS-A150/MS-A200）
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■ 特點(diǎn) ■ MIKASA**的旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)不但可以達(dá)到5，000rpm以上的高速旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)數(shù)精度全實(shí)現(xiàn)了 ±1rpm的高精度 ■ 可任意設(shè)定旋轉(zhuǎn)數(shù)（0~5，000rpm）和到達(dá)旋轉(zhuǎn)數(shù)的時(shí)間（0.2sec~999.9sec），因此可輕易地控制膜厚。 ■ 可追加滴下設(shè)備（MS-A150/MS-A200）
