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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
我們的 MCPD 系列內(nèi)聯(lián)薄膜評(píng)估系統(tǒng)采用光學(xué)類(lèi)型，可在非接觸式和無(wú)損條件下檢測(cè)薄膜厚度、濃度和顏色。
可測(cè)量薄膜厚度范圍為 65nm 至 92μm，從薄膜到厚膜。 （折射率為1.5時(shí)）
測(cè)量原理為分光干涉方式，在實(shí)現(xiàn)高測(cè)量再現(xiàn)性的同時(shí)，還支持多層厚度測(cè)量。 由于采用專(zhuān)有算法可實(shí)現(xiàn)高速實(shí)時(shí)監(jiān)控，因此我們提出了*適合在線膠片監(jiān)視器的系統(tǒng)。
詳情介紹：
特點(diǎn)
- 非常適合工藝過(guò)程中的薄膜高速測(cè)量
- *短曝光時(shí)間1ms~ ※根據(jù)規(guī)格
- 支持遠(yuǎn)程測(cè)量
- 膜厚測(cè)定范圍65nm~92μm（SiO2轉(zhuǎn)換）
基本配置
多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換支持系統(tǒng)
在多點(diǎn)測(cè)量點(diǎn)切換兼容系統(tǒng)中，通過(guò)在TD方向上預(yù)先將多分支光纖安裝在任意寬度上，可以在不驅(qū)動(dòng)光纖的情況下測(cè)量TD方向的薄膜厚度分布。 可用作涂層條件和實(shí)時(shí)監(jiān)視器。
探測(cè)器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是一種類(lèi)型，可通過(guò)光纖光路切換進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。
遍歷單元對(duì)應(yīng)系統(tǒng)
在支持遍歷單元的系統(tǒng)中，通過(guò)在 TD 方向上驅(qū)動(dòng)遍歷單元，可以測(cè)量 TD 方向上的薄膜厚度分布，范圍和間距均相同。 可用作涂層條件和實(shí)時(shí)監(jiān)視器。
無(wú)需多個(gè)探測(cè)器或數(shù)據(jù)處理，即可通過(guò)驅(qū)動(dòng)遍歷單元進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。
即使在真空環(huán)境中也能進(jìn)行多點(diǎn)反射和透射光譜測(cè)量
通過(guò)使用適用于各種法蘭的耐真空纖維，可以在高真空下測(cè)量反射和透射光譜。 此外，薄膜厚度計(jì)算不受基膜上下運(yùn)動(dòng)的影響，并且通過(guò)采用大分電子專(zhuān)有的算法，可以**測(cè)量薄膜，可用作實(shí)時(shí)監(jiān)視器。
規(guī)格
MCPD-9800 規(guī)格
| 類(lèi)型表達(dá)式 | MCPD-9800 | ||||||||
| 2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |||||
| 測(cè)量波長(zhǎng)范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 | ||||
| 薄膜厚度范圍* | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm | ||||
| 薄膜厚度/反射/透射/延遲 | 〇 | ||||||||
| 顏色測(cè)量 | 〇 | × | |||||||
| 掃描時(shí)間 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||||||
| 點(diǎn)直徑 | φ1.2mm | ||||||||
| 纖維長(zhǎng)度 | 1m~ 長(zhǎng)度需要咨詢(xún) | ||||||||
※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格
MCPD-6800 規(guī)格
| 類(lèi)型表達(dá)式 | MCPD-6800 | |||
| 2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 測(cè)量波長(zhǎng)范圍（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 薄膜厚度范圍* | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測(cè)量 | 〇 | |||
| 掃描時(shí)間 | 16ms～65s | |||
| 點(diǎn)直徑 | φ1.2mm | |||
| 纖維長(zhǎng)度 | 1m~ 長(zhǎng)度需要咨詢(xún) | |||
※膜厚值n=1.5換算。 取決于規(guī)格
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