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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:OPTM顯微分光膜厚儀OPTM-A2Otsuka大塚

    • 產(chǎn)品型號: OPTM-A2
    • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    頭部集成了薄膜厚度測量所需功能 通過顯微光譜法測量高精度**反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù)) 1點(diǎn)1秒高速測量 顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外至近紅外) 區(qū)域傳感器的**機(jī)制 易于分析向?qū)?,初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析 獨(dú)立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求 支持各種自定義 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Otsuka大塚 OPTM顯微分光膜厚儀_OPTM-A1_Ots
    詳情介紹:


    顯微分光膜厚儀OPTM series


    顯微分光膜厚儀OPTM series


















    特點(diǎn)


    頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
    通過顯微光譜法測量高精度**反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù))
    1點(diǎn)1秒高速測量
    顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外至近紅外)
    區(qū)域傳感器的**機(jī)制
    易于分析向?qū)?,初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析
    獨(dú)立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求
    支持各種自定義



    使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過**反射率進(jìn)行測量,可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析??赏ㄟ^非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件



    OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
    波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
    膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
    測定時(shí)間 1秒 / 1點(diǎn)
    光斑大小 10μm (*小約5μm)
    感光元件 CCD InGaAs
    光源規(guī)格 氘燈+鹵素?zé)?  鹵素?zé)?/span>
    電源規(guī)格 AC100V±10V 750VA(自動(dòng)樣品臺規(guī)格)
    尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)樣品臺規(guī)格之主體部分)
    重量 約 55kg(自動(dòng)樣品臺規(guī)格之主體部分


    *目前蘇州地區(qū)有樣機(jī)可供測試

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